产品定制丨高性能真空十轴位移台
发布时间：2023-11-07 浏览量：次 来源：菲克科技
高性能真空十轴位移台
高性能真空十轴位移台是菲克为满足客户需求专门研发的定制产品，适用于真空环境下的高精度激光扫描，光路搭建等其他对位置精密有要求的领域。真空十轴位移台主要由两个部分组成，分别为六轴样品位移台和四轴探测器位移台，样品位移台用于样品安装固定，探测器位移台用于安装激光探测器，两组位移台都能够进行相对独立的运动，且互相不干涉。
真空十轴位移台包含四种运动模式：平移、升降、旋转、偏摆。终端可使用手动调平装置进行调整。单轴双向重复定位精度可达±1.4μm，定位精度可达±3μm；整体单向直线度误差±6μm。各轴关系匹配角度误差不大于0.5°；距离误差1mm左右。
该套产品使用环境可达高真空度1x10-5Pa，所有原器件均采用真空适用材料，环境适应性强。
旋转轴全部使用光栅尺进行闭环反馈，平移升降轴预留光栅尺接口，目前使用半闭环进行控制，后期也可加上光栅尺完成全闭环，精度可进一步提升。
四轴探测器位移台
高性能真空十轴位移台
真空伺服电机+交叉滚子导轨+蜗轮蜗杆+圆弧光栅
行程220°，采用伺服电机+交叉滚子导轨+涡轮蜗杆结构+圆弧光栅。光栅尺进行末端位置反馈，实现全闭环，通过驱动可做精度补偿；可实现断电自锁。
平移轴-Rx'(2θ) 带载实测精度 | |
行程 | -10-210° |
定位精度 | ±0.0073° |
双向重复定位精度 | ±0.00465° |
真空步进电机+不锈钢直线导轨+高精度滚珠丝杆
行程700mm。采用步进电机+直线导轨+滚珠丝杆。整体为半闭环，预留光栅尺接口。主要为悬臂使用，精度要求不高。
真空伺服电机+不锈钢直线导轨+高精度滚珠丝杆
行程120mm。采用伺服电机+直线导轨+滚珠丝杆。使用伺服电机编码器形成闭环，进行精度跟踪，通过驱动可做精度补偿；可实现断电自锁。
升降轴-X1 带载实测精度 | |
行程 | 120mm |
定位精度 | ±14.55μm |
双向重复定位精度 | ±1.4μm |
真空步进电机+交叉滚子导轨+蜗轮蜗杆
行程180°。采用步进电机+交叉滚子导轨+涡轮蜗杆结构。性价比高，经济实用。
旋转轴-ψ 带载实测精度 | |
行程 | 180° |
定位精度 | ±0.029° |
双向重复定位精度 | ±0.01° |
六轴样品位移台
高性能真空十轴位移台
真空伺服电机+交叉滚子导轨+蜗轮蜗杆+圆弧光栅
行程107.5°。采用伺服电机+交叉滚子导轨+蜗轮蜗杆结构+圆弧光栅。光栅尺进行末端位置反馈，实现全闭环，通过驱动可做精度补偿；可实现断电自锁。
旋转轴-Rx(θ) 带载实测精度 | |
行程 | -12.5-95° |
定位精度 | ±0.0085° |
双向重复定位精度 | ±0.0025° |
真空伺服电机+不锈钢直线导轨+滚珠丝杆
行程400mm。采用伺服电机+直线导轨+滚珠丝杆。使用伺服电机编码器形成闭环，进行精度跟踪，通过驱动可做精度补偿；可实现断电自锁。
平移轴-Y 带载实测精度 | |
行程 | -20-380mm |
定位精度 | ±9.8μm |
双向重复定位精度 | ±4.7μm |
真空伺服电机+减速机+定制蜗轮蜗杆+弧形光栅
行程40°。采用伺服电机+减速机+定制蜗轮蜗杆结构+弧形光栅。光栅尺进行末端位置反馈，实现全闭环，通过驱动可做精度补偿；可实现断电自锁。
偏摆轴-Ry(tilt) 带载实测精度 | |
行程 | -20-20° |
定位精度 | ±0.00155° |
双向重复定位精度 | ±0.0008° |
真空伺服电机+不锈钢直线导轨+滚珠丝杆
行程200mm。采用伺服电机+直线导轨+滚珠丝杆。使用伺服电机编码器形成闭环，进行精度跟踪，通过驱动可做精度补偿；可实现断电自锁。
平移轴-Z 带载实测精度 | |
行程 | 200mm |
定位精度 | ±2.75μm |
双向重复定位精度 | ±1.15μm |
真空伺服电机+减速机+直线导轨+滚珠丝杆
行程180mm。采用伺服电机+减速机+直线导轨+滚珠丝杆。使用伺服电机编码器形成闭环，进行精度跟踪，通过驱动可做精度补偿；可实现断电自锁。
升降轴-X 带载实测精度 | |
行程 | 180mm |
定位精度 | ±6.6μm |
双向重复定位精度 | ±1.4μm |
真空伺服电机+交叉滚子导轨+蜗轮蜗杆+圆弧光栅
行程360°。采用伺服电机+交叉滚子导轨+蜗轮蜗杆结构+圆弧光栅。光栅尺进行末端位置反馈，实现全闭环，通过驱动可做精度补偿；可实现断电自锁。
旋转轴-φ带载实测精度 | |
行程 | 360° |
定位精度 | ±0.023° |
双向重复定位精度 | ±0.007° |
