年度产品丨2023年度菲克科技产品汇总

超高精度 · 高稳定性 · 双向重复定位精度达±0.3μm

FMS165Z-H系列解决了超低速运⾏稳定性难题，采⽤超⾼分辨率光栅尺配合超⾼精度装配⼯艺，使该系列平移台有极佳的超低速运⾏能⼒并达到亚μm级重复定位精度；同时采⽤内置拖链，⽅便线束管理。

弧形直线电机 · 高精度 · 弧形导轨

FMSA38-60扇形位移台采用弧形直线电机，高精度弧形导轨，光栅尺做反馈，实现在一定角度内的旋转运动。

六自由度调整 · 可靠性高 · 专业软件

六轴并联机器人系统主要用于高精度的六自由度调整，尤其适合于空间精密对位、微小器件加工和装配、光通信器件调芯、晶片检验等场合。

机械主体采用六个推杆+双虎克铰结构，具有刚性强、重复定位精度高、可任意位置安装等特点。推杆采用绝对定位型电机驱动，失电后保持位置信息，重启后无需归零。电机驱动系统采用标准工业总线EtherCAT进行通信，可靠性高、通信效率高，兼容市场上主流运动控制系统。

控制系统与软件支持各种欧拉角空间变换制式、支持机器人运行空间坐标系管理（包括世界坐标系、工件坐标系（64组）、机器人安装坐标系、机器人驱动坐标系、机器人工具坐标系（64组）的设置和转换）、支持载荷模拟、具有机器人空间校准功能、支持3D姿态仿真模拟、示教方案等功能。提供二次开发包，可以根据实际应用，整合成系统设备。

直驱步进电机 · 模块化设计 · 专业软件

FMSL系列直驱滤光⽚轮采⽤了直驱步进技术，结构轻巧，精度高，转速快。模块化设计，方便滤波轮的安装及拆卸。

直驱步进电机 · 超薄剖面设计 · 定位精度±10μrad

FK-BPJ系列玻⽚架采⽤偏振⽚旋转定位⽽设计的⾼精度偏振器旋转架和偏振⽚旋转器与步进直驱电机联合使⽤，⼴泛⽤于旋转玻⽚，旋转偏振⽚以及偏振棱镜旋转定位。