XY精密平台的工作采用什么模式

大行程精密位移技术被广泛应用于半导体加工、精密制造、光学工程等领域的实际生产中 ,用以提高加工精度 ,制造出体积更小、能耗更低、功能更强大的产品。因此 ,具有 50mm 以上行程、亚微米级以下定位精度的多自由度精密位移技术已经成为相关产业的关键技术之一。

针对此要求 ,近年来 ,国内外对大行程高精度位移技术进行了大量的研究。在多自由度微位移技术的研究中存在着一个突出的矛盾: 高精度和大行程的矛盾。 解决这一矛盾的关键在于设计合理的机械执行装置，在多自由度微位移技术的研究中存在着一个突出的矛盾: 高精度和大行程的矛盾。 解决这一矛盾的关键在于设计合理的机械执行装置。XY精密平台的工作采用什么模式?下面跟随小编一起来看看吧!

(1) 第一级机构的行程误差必须小于第二级机构(微定位平台 )的最大行程 ,即第一级机构的误差具有可补偿性;

( 2) 对轨迹精度有要求时 ,第二级机构的控制周期必须小于第一级机构的有效控制周期 ,即第二级机构的补偿动作具有有效性和实时性。我们研制的精密定位系统采用宏 /微结合的模式如图 2所示。 在这种模式下 ,第一级机构 (即宏平台 ) 不仅需要完成大行程、具有一定精度的位移 ,而且 ,宏平台也是微平台、伺服系统和测量系统等装置的安装

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