FMS115Z-50、FMS115Z-100、FMS115Z-150、FMS115Z-200；⾏程覆盖:50mm、100mm、150mm与200mm；⾼分辨率的光栅尺编码器，反馈能以亚微⽶的可重复定位精度进⾏精确定位；超静⾳位移台，适⽤于实验室环境与⾼性能要求的⼯业场所

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