高频振动直线位移台

 近日我司成功交付一套高频直线振动位移台给客户。

 项目启动之初，客户提出要在1000N的推力下在0.1mm的行程中实现15Hz的高频振动。经过一系列计算，我们采用了一组大推力(持续推力高达2800N)有铁芯直线电机做为驱动主体，配合高承载导轨，高精度光栅尺，最终实现了大推力、高精度、高振频的运动。

   客户应用场景图如下：      

实物图如下：

   最终实现参数如下：

总行程：50mm，在总行程中任意位置可做0.1mm，15Hz高频振动，双向重复定位精度：50mm重复定位精±1.5um，0.1mm高频振动重复±3um，最小位移0.5um。

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