高精度三维显微扫描台

 近日我司成功交付一套高精度三维显微扫描台。整个运动系统采用双Z轴龙门升降台和整体XY高精度直线位移台搭建。位移台参数分别为：Z轴行程为30mm升降台,负载10kg，重复定位精度±2微米。XY轴行程100mm,负载2Kg,重复定位精度±1微米。

 同时应客户要求，在我们的系统中还集成了对电子快门的控制。整体实物图如下图：

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