发布时间:2025-12-15浏览量:285次来源:菲克科技


步进电机二维扫描台
菲克科技研发的FMSXY120-20步进电机二维扫描平台适用于行程范围在0-20mm之间的各项应用。结构坚固、性能卓越,广泛应用于各种精密科研和工业生产环节,包括检测设备、二维扫描、显微载物台等。
该产品使用偏置安装,负载重量6 kg,最大速度2 mm/s。整体尺寸为120 mm x 120 mm x 60 mm。
根据客户需求该产品还可以对行程、精度、尺寸等各种参数进行定制。


移动装置设计为大力矩步进电机+高精度滚珠丝杆形成开环模式。既能保证运动丝滑顺畅,又能满足精度需求。
同时根据客户需求还可以更换为伺服电机并增加光栅尺做半闭环和全闭环模式。

| X轴精度 | |
| 定位精度 | ±5.1 μm |
| 重复定位精度 | ±2.3 μm |

| X轴直线度 | |
| XX直线度 | 3.9 μm |
| YY直线度 | 0.8 μm |

| X轴俯仰角测试 | |
| A角(YAW) | 5.0 arc sec |
| B角(PITCH) | 4.6 arc sec |

| Y轴精度 | |
| 定位精度 | ±6.75 μm |
| 重复定位精度 | ±0.9 μm |

| Y轴直线度 | |
| XX直线度 | 1.1 μm |
| YY直线度 | 1.8 μm |

| Y轴俯仰角测试 | |
| A角(YAW) | 14.7 arc sec |
| B角(PITCH) | 2.9 arc sec |


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菲克科技始终致力于运用前沿技术提升产品质量,并不断突破技术瓶颈,为科研、工业客户提供高品质的运动控制解决方案。 在超精密加工、半导体检测和光学测量领域,传统多轴运动系统常常因为刚性不足、振动敏感、热稳定性差等问题,难以满足纳米级精度和高负载的复合运动需求。针对高精度、高负载应用,我们攻克了空间约束与超精定位的难题,为客户定制研发了 FMSXYR-D 三轴高负载定制大理石位移系统!

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