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产品动态 05月27
真空兼容,三轴一体!菲克科技 XYZ/XYR 真空位移台

菲克科技带来专为高 / 超高真空环境量身定制的XYZ/XYR 三轴一体化真空位移台。产品支持 10⁻⁴~10⁻⁶Pa 真空度,采用全金属低释气设计与精密传动结构,完美解决真空环境下的高精度定位难题,为半导体制程、前沿科研、精密光学等领域提供稳定可靠的运动控制解决方案。

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