菲克科技专注于精密运动控制领域,其电动平移台产品系列以高精度、高性能和卓越的可靠性,在光学、生命科学、半导体、纳米技术等领域,为各种精密应用提供精准的线性定位和运动控制解决方案。
在高级半导体器件与集成电路生产中,精确加工晶圆是重要环节。菲克科技研发了五轴位移系统,提供更高加工精度和灵活性。该系统包括X、Y平移两轴、Z升降轴、R旋转轴和DS晶圆顶升轴。每个轴都有独特功能,协同工作确保加工精准和灵活。