
在高级半导体器件与集成电路生产中,精确加工晶圆是重要环节。菲克科技研发了五轴位移系统,提供更高加工精度和灵活性。该系统包括X、Y平移两轴、Z升降轴、R旋转轴和DS晶圆顶升轴。每个轴都有独特功能,协同工作确保加工精准和灵活。

在重型装备测试、大吨位试验平台、特殊腐蚀工况下,普通旋转台难以兼顾十吨级重载承载与角度控制精度,设备抗振、结构强度、瞬时响应都面临极大考验。菲克科技基于成熟运动控制技术,针对客户重载工况需求完成定制项目落地 ——FMSR950 高精度高负载旋转台。

在精密制造和科学研究领域,对角度测量和定位的精度要求日益严苛。为了满足这一需求,四川菲克科技潜心研发,推出高精度闭环步进旋转台。这款产品在传统蜗轮蜗杆传动的基础上,巧妙融合了先进的闭环控制技术,实现了亚角秒级精度,为科研、制造、检测等领域提供了全新高精度角度定位解决方案。

在光纤拉伸、材料力学科研实验当中,双台面运动不同步、运行扰动大、相对位移偏差,会直接造成实验数据失真。针对客户光纤拉伸实验的定制化工况需求,菲克科技基于成熟平台进行专项定制开发,研发定制FMS165Z - 150HD 双台面双驱对位移台。