在高级半导体器件与集成电路生产中，精确加工晶圆是重要环节。菲克科技研发了五轴位移系统，提供更高加工精度和灵活性。该系统包括X、Y平移两轴、Z升降轴、R旋转轴和DS晶圆顶升轴。每个轴都有独特功能，协同工作确保加工精准和灵活。
FMSS110C-30采用高品质直线电机，结合一体式交叉滚柱导轨和光栅尺，确保了卓越的运动性能。在速度均匀性波动控制方面，我们的技术团队将其控制在千分之一以内，确保每一次运动都精确无误。
菲克科技最新研发的FMC-JK03三轴运动控制手柄体积小，操作简单，功能丰富。配合菲克FMC01/03/04-H系列高性能控制器，能对菲克各类位移台进行快捷的运动控制。
菲克科技始终致力于运用前沿技术提升产品质量，并不断突破技术瓶颈，为科研、工业客户提供高品质的运动控制解决方案。 在超精密加工、半导体检测和光学测量领域，传统多轴运动系统常常因为刚性不足、振动敏感、热稳定性差等问题，难以满足纳米级精度和高负载的复合运动需求。针对高精度、高负载应用，我们攻克了空间约束与超精定位的难题，为客户定制研发了 FMSXYR-D 三轴高负载定制大理石位移系统！