
菲克科技FMSR-AB系列气浮转台,具有±5x26qu

FMSXY250Z-120-110DB 超薄一体化二维扫描平台是专为满足对空间及性能有极高要求的应用场景而设计。该平台集成了菲克科技在直线电机驱动、高精度定位、闭环控制和微型化设计等方面的核心技术,以紧凑的结构实现卓越的运动性能,助力客户在微纳尺度世界中取得突破。

菲克科技始终致力于运用前沿技术提升产品质量,并不断突破技术瓶颈,为科研、工业客户提供高品质的运动控制解决方案。 在超精密加工、半导体检测和光学测量领域,传统多轴运动系统常常因为刚性不足、振动敏感、热稳定性差等问题,难以满足纳米级精度和高负载的复合运动需求。针对高精度、高负载应用,我们攻克了空间约束与超精定位的难题,为客户定制研发了 FMSXYR-D 三轴高负载定制大理石位移系统!