发布时间：2023-11-30浏览量：409次来源：菲克科技
真空六轴镜架
真空六轴镜架是菲克为满足客户需求专门研发的定制产品，在不同位置对光路进行引导并且能够完成XYZR方向的位移进行各角度收光，适用于实验室需要光路密封传递不同角度时高精度位置信息的光路实验。真空六轴镜架通过电动转台和三轴手动位移台进行光源位置调整，以及一整套笼式结构的镜架，保证光源在固定高度的不同点位进行光路调整。
多轴光源位置调整台
通过下方电动转台进行R轴360°旋转，以及多轴手动位移台XYZ轴移动调节对样品光源进行同心定位，然后通过上面小中孔电机对样品光源进行收光。确保电动转台的高精度重复性，以满足客户对光源每步角度调节的需求。
笼式结构镜架
多个反光镜连接做光路传递，为保证光路同心、光强正常且稳定，采用了笼式结构来满足客户的需求。
在多个反光镜之间配合以及与光源位置移动的多轴调整台之间配合时，为保证光路的同心性以光路的收光准确性，菲克科技研发了这款真空六轴镜架。
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菲克科技为定制研发的四轴位移台光路系统，旨在满足实验室中对探测器位置多样化的应用需求，同时与夹具完美结合，助力各种科研与工业项目的顺利进行。广泛应用于检测设备、光学实验、光学系统以及X光成像等领域。
菲克科技始终致力于运用前沿技术提升产品质量，并不断突破技术瓶颈，为科研、工业客户提供高品质的运动控制解决方案。 在超精密加工、半导体检测和光学测量领域，传统多轴运动系统常常因为刚性不足、振动敏感、热稳定性差等问题，难以满足纳米级精度和高负载的复合运动需求。针对高精度、高负载应用，我们攻克了空间约束与超精定位的难题，为客户定制研发了 FMSXYR-D 三轴高负载定制大理石位移系统！
FMSXY250Z-120-110DB 超薄一体化二维扫描平台是专为满足对空间及性能有极高要求的应用场景而设计。该平台集成了菲克科技在直线电机驱动、高精度定位、闭环控制和微型化设计等方面的核心技术，以紧凑的结构实现卓越的运动性能，助力客户在微纳尺度世界中取得突破。
在高级半导体器件与集成电路生产中，精确加工晶圆是重要环节。菲克科技研发了五轴位移系统，提供更高加工精度和灵活性。该系统包括X、Y平移两轴、Z升降轴、R旋转轴和DS晶圆顶升轴。每个轴都有独特功能，协同工作确保加工精准和灵活。