发布时间：2024-02-22浏览量：840次来源：菲克科技
步进电机二维扫描台
菲克科技研发的FMSXY120-20步进电机二维扫描平台适用于行程范围在0-20mm之间的各项应用。结构坚固、性能卓越，广泛应用于各种精密科研和工业生产环节，包括检测设备、二维扫描、显微载物台等。
该产品使用偏置安装，负载重量6 kg，最大速度2 mm/s。整体尺寸为120 mm x 120 mm x 60 mm。
根据客户需求该产品还可以对行程、精度、尺寸等各种参数进行定制。
移动装置设计为大力矩步进电机+高精度滚珠丝杆形成开环模式。既能保证运动丝滑顺畅，又能满足精度需求。
同时根据客户需求还可以更换为伺服电机并增加光栅尺做半闭环和全闭环模式。
| X轴精度 | |
| 定位精度 | ±5.1 μm |
| 重复定位精度 | ±2.3 μm |
| X轴直线度 | |
| XX直线度 | 3.9 μm |
| YY直线度 | 0.8 μm |
| X轴俯仰角测试 | |
| A角(YAW) | 5.0 arc sec |
| B角(PITCH) | 4.6 arc sec |
| Y轴精度 | |
| 定位精度 | ±6.75 μm |
| 重复定位精度 | ±0.9 μm |
| Y轴直线度 | |
| XX直线度 | 1.1 μm |
| YY直线度 | 1.8 μm |
| Y轴俯仰角测试 | |
| A角(YAW) | 14.7 arc sec |
| B角(PITCH) | 2.9 arc sec |
电 话:+86-028-85864663
邮 箱:info@feinixs.com
网 址:http://www.feinixs.com
菲克科技为客户定制的四维位移台光路系统适用于实验室中对探测器各个点位置进行多种应用的样品检查且可搭配夹具进行使用。该系统具有坚固的结构和卓越的性能，在各种精密科研和工业生产环节广泛应用，其中包括检测设备、光学实验和光学系统以及X光成像领域。
菲克科技为客户定制的FMS60VR-40真空高精度整体台面平移台可用于在真空环境中进行精密的位移和定位。该系统具有坚固的结构和卓越的性能，在各种精密科研和工业生产环节广泛应用，其中包括光学、半导体、纳米技术、航空航天等领域。
菲克科技最新研发的FMC-JK03三轴运动控制手柄体积小，操作简单，功能丰富。配合菲克FMC01/03/04-H系列高性能控制器，能对菲克各类位移台进行快捷的运动控制。
菲克科技带来专为高 / 超高真空环境量身定制的XYZ/XYR 三轴一体化真空位移台。产品支持 10⁻⁴～10⁻⁶Pa 真空度，采用全金属低释气设计与精密传动结构，完美解决真空环境下的高精度定位难题，为半导体制程、前沿科研、精密光学等领域提供稳定可靠的运动控制解决方案。