发布时间：2024-02-22浏览量：296次来源：菲克科技
步进电机二维扫描台
菲克科技研发的FMSXY120-20步进电机二维扫描平台适用于行程范围在0-20mm之间的各项应用。结构坚固、性能卓越，广泛应用于各种精密科研和工业生产环节，包括检测设备、二维扫描、显微载物台等。
该产品使用偏置安装，负载重量6 kg，最大速度2 mm/s。整体尺寸为120 mm x 120 mm x 60 mm。
根据客户需求该产品还可以对行程、精度、尺寸等各种参数进行定制。
移动装置设计为大力矩步进电机+高精度滚珠丝杆形成开环模式。既能保证运动丝滑顺畅，又能满足精度需求。
同时根据客户需求还可以更换为伺服电机并增加光栅尺做半闭环和全闭环模式。
| X轴精度 | |
| 定位精度 | ±5.1 μm |
| 重复定位精度 | ±2.3 μm |
| X轴直线度 | |
| XX直线度 | 3.9 μm |
| YY直线度 | 0.8 μm |
| X轴俯仰角测试 | |
| A角(YAW) | 5.0 arc sec |
| B角(PITCH) | 4.6 arc sec |
| Y轴精度 | |
| 定位精度 | ±6.75 μm |
| 重复定位精度 | ±0.9 μm |
| Y轴直线度 | |
| XX直线度 | 1.1 μm |
| YY直线度 | 1.8 μm |
| Y轴俯仰角测试 | |
| A角(YAW) | 14.7 arc sec |
| B角(PITCH) | 2.9 arc sec |
电 话:+86-028-85864663
邮 箱:info@feinixs.com
网 址:http://www.feinixs.com
真空六轴镜架是菲克为满足客户需求专门研发的定制产品，在不同位置对光路进行引导并且能够完成XYZR方向的位移进行各角度收光，适用于实验室需要光路密封传递不同角度时高精度位置信息的光路实验。
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