发布时间：2024-02-22浏览量：922次来源：菲克科技
步进电机二维扫描台
菲克科技研发的FMSXY120-20步进电机二维扫描平台适用于行程范围在0-20mm之间的各项应用。结构坚固、性能卓越，广泛应用于各种精密科研和工业生产环节，包括检测设备、二维扫描、显微载物台等。
该产品使用偏置安装，负载重量6 kg，最大速度2 mm/s。整体尺寸为120 mm x 120 mm x 60 mm。
根据客户需求该产品还可以对行程、精度、尺寸等各种参数进行定制。
移动装置设计为大力矩步进电机+高精度滚珠丝杆形成开环模式。既能保证运动丝滑顺畅，又能满足精度需求。
同时根据客户需求还可以更换为伺服电机并增加光栅尺做半闭环和全闭环模式。
| X轴精度 | |
| 定位精度 | ±5.1 μm |
| 重复定位精度 | ±2.3 μm |
| X轴直线度 | |
| XX直线度 | 3.9 μm |
| YY直线度 | 0.8 μm |
| X轴俯仰角测试 | |
| A角(YAW) | 5.0 arc sec |
| B角(PITCH) | 4.6 arc sec |
| Y轴精度 | |
| 定位精度 | ±6.75 μm |
| 重复定位精度 | ±0.9 μm |
| Y轴直线度 | |
| XX直线度 | 1.1 μm |
| YY直线度 | 1.8 μm |
| Y轴俯仰角测试 | |
| A角(YAW) | 14.7 arc sec |
| B角(PITCH) | 2.9 arc sec |
电 话:+86-028-85864663
邮 箱:info@feinixs.com
网 址:http://www.feinixs.com
菲克科技带来专为高 / 超高真空环境量身定制的XYZ/XYR 三轴一体化真空位移台。产品支持 10⁻⁴～10⁻⁶Pa 真空度，采用全金属低释气设计与精密传动结构，完美解决真空环境下的高精度定位难题，为半导体制程、前沿科研、精密光学等领域提供稳定可靠的运动控制解决方案。
菲克推出全新一代迷你型三轴直线/伺服控制器FMC04-MINI03。不仅小巧精致，更是性能卓越。内置高性能控制器和低压直流驱动，结合高精度光栅尺和高性能控制模块，构建完美闭环控制系统，实现对小型直线/伺服位移台的速度、位置和力矩的精准控制。
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FMSS110C-30采用高品质直线电机，结合一体式交叉滚柱导轨和光栅尺，确保了卓越的运动性能。在速度均匀性波动控制方面，我们的技术团队将其控制在千分之一以内，确保每一次运动都精确无误。