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FMSXY 系列直线电机中空二维扫描平台
高速、高精度、适配灵活
菲克科技 FMSXY 系列直线电机中空二维扫描平台专为需要高速、高精度二维定位的实验室和工业应用而设计，尤其适用于显微成像和自动化检测领域。该平台采用一体化台面设计，搭载高性能直线电机，实现了快速、精准的二维扫描运动。其独特的中空结构，为光路和样品操作提供了更大的灵活性。
主要特点
行程、精度、承载均可定制，满足个性化需求： 可根据客户需求定制平台行程、精度和承载能力，满足不同应用场景的个性化需求。
一体化台面设计，结构紧凑，节省空间： 采用一体化台面设计，将 X 轴和 Y 轴集成在一个紧凑的单元中，最大程度地节省了安装空间。
高分辨率，精细控制： 高分辨率直线电机配合菲克科技高性能控制器，可实现亚微米级精确定位，保证了图像采集的精度和清晰度。
高速运动，效率倍增： 采用直驱电机技术，速度更快，加速度更大，显著提升扫描效率，特别适用于大视野、高分辨率成像应用。
适配灵活，轻松集成： 可适配尼康、徕卡等主流品牌的倒置显微镜，并提供多种配套附件，方便用户快速集成到现有的显微系统中。
超静音运行，打造舒适环境: 超静音位移台，适用于对噪音敏感的实验室环境和高性能工业场所。
强大软件支持，轻松操控: 免费标准版 SDK，支持 Window、Linux 环境下多种开发语言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等)，方便用户进行二次开发和系统集成。
高性能控制器，实现复杂运动: 控制器支持圆弧插补、直线插补、位置记忆和任意图形导入，可满足各种复杂运动控制需求。
灵活通讯，无缝连接: 可选配 EtherCAT 总线控制，实现高速、稳定的数据传输。
产品应用
显微镜 Microscope、二维扫描 2D Scan、飞秒加工 Femtosecond Processing
组合搭配
It can be flexibly combined into multi-axis motion system,Contact for more information
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Model |
FMSXY250Z-120-110 |
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行程 Travel(mm) |
120(X);110(Y) |
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负载 Load Capacity(Kg)[1] |
2 |
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分辨率 Resolution(μm) |
0.05 |
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最小步进量 Min.Incremental Motion(μm)[2] |
0.1 |
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单向重复定位精度/保证值 Undirection Repeatability[3]/Guaranteed(μm)[4] |
±0.25 or 0.5 |
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单向重复定位精度/典型值 Undirection Repeatability/Typical(μm) |
±0.1 or 0.2 |
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双向重复定位精度/保证值 Bi-Directional Repeatability/Guaranteed(μm) |
±0.5 or 1 |
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双向重复定位精度/典型值 Bi-Directional Repeatability/Typical(μm) |
±0.3 or 0.6 |
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定位精度/保证值 Accuracy[3]/Guaranteed(μm) |
±2.5 or 5 |
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定位精度/典型值 Accuracy/Typical(μm) |
±1.5 or 3 |
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最大速度 Max.Speed(mm/s)[5] |
100 |
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直线度 Straightness(μm) |
10 |
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平整度 Flatness(μm) |
10 |
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偏摆 Yaw(arcsec) |
20 |
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俯仰 Pitch(arcsec) |
20 |
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重量 Weight(kg) |
6.9 |
※ 备注
[1]：水平放置下的中心垂直负载。
[2]：最小运动增量不等同于分辨率，最小运动增量是指运动系统在连续、稳定情况下能够移动的最小量。一般来说，系统分辨率远小于最小运动增量。考虑传动结构和编码器对系统误差的影响，直线电机位移台与步进电机位移台相比，其最小运动增量更加接近于分辨率。
[3]：精度测量数据是平台在水平放置的情况下使用激光干涉仪测量的数据，测量标准参照GB/T17421-2000。
[4]：典型值和保证值的区别见技术指南。
[5]：最大速度为典型值，根据负载和控制器的不同会有区别。
