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FMSXY系列伺服电机中空二维扫描平台
高精度、一体化设计、适配主流显微镜
菲克科技 FMSXY 系列伺服电机中空二维扫描平台，专为需要高精度二维运动控制的显微镜应用而设计。FMSXY 系列扫描平台采用一体化台面设计，搭载高性能伺服电机和精密传动部件，具备高精度、高稳定性、低噪音等特点，可适配多种主流显微镜，是生物医学、材料科学等领域理想的二维定位解决方案。
主要特点
行程、精度、承载均可定制，满足个性化需求： 可根据客户需求定制平台行程、精度和承载能力，满足不同应用场景的个性化需求。
一体化台面设计，结构紧凑，节省空间： 采用一体化台面设计，将 X 轴和 Y 轴集成在一个紧凑的单元中，最大程度地节省了安装空间。
高精度传动，稳定可靠: 采用高品质滚珠丝杆和精密直线导轨，结合菲克科技标准化安装工艺，确保卓越的运动精度和长期稳定的可靠性。
适配灵活，轻松集成： 可适配尼康、徕卡等主流品牌的倒置显微镜，并提供多种配套附件，方便用户快速集成到现有的显微系统中。
多种附件，扩展应用: 提供丰富的显微应用附件，例如样品夹具、探针台等，满足不同实验需求。
断电自锁，安全可靠: 具备断电自锁功能，意外断电时能够锁定平台位置，保障实验安全。
强大软件支持，轻松操控: 免费标准版 SDK，支持 Window、Linux 环境下多种开发语言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等)，方便用户进行二次开发和系统集成。
高性能控制器，实现复杂运动: 控制器支持圆弧插补、直线插补、位置记忆和任意图形导入，可满足各种复杂运动控制需求。
灵活通讯，无缝连接: 可选配 EtherCAT 总线控制，实现高速、稳定的数据传输。
产品应用
显微镜 Microscope、二维扫描 2D Scan、飞秒加工 Femtosecond Processing
组合搭配
It can be flexibly combined into multi-axis motion system,Contact for more information
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Model |
FMSXY250S-120-110 |
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行程 Travel(mm) |
120(X);110(Y) |
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负载 Load Capacity(Kg)[1] |
2 |
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分辨率 Resolution(μm) |
0.1 |
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最小步进量 Min.Incremental Motion(μm)[2] |
0.5 |
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单向重复定位精度/保证值 Undirection Repeatability[3]/Guaranteed(μm)[4] |
±1 or 2 |
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单向重复定位精度/典型值 Undirection Repeatability/Typical(μm) |
±0.5 or 1 |
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双向重复定位精度/保证值 Bi-Directional Repeatability/Guaranteed(μm) |
±3 or 6 |
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双向重复定位精度/典型值 Bi-Directional Repeatability/Typical(μm) |
±2 or 4 |
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定位精度/保证值 Accuracy[3]/Guaranteed(μm) |
±5 or 10 |
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定位精度/典型值 Accuracy/Typical(μm) |
±3 or 6 |
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最大速度 Max.Speed(mm/s)[5] |
10 |
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直线度 Straightness(μm) |
15 |
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平整度 Flatness(μm) |
10 |
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偏摆 Yaw(arcsec) |
30 |
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俯仰 Pitch(arcsec) |
30 |
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重量 Weight(kg) |
7 |
※ 备注
[1]：水平放置下的中心垂直负载。
[2]：最小运动增量不等同于分辨率，最小运动增量是指运动系统在连续、稳定情况下能够移动的最小量。一般来说，系统分辨率远小于最小运动增量。考虑传动结构和编码器对系统误差的影响，直线电机位移台与步进电机位移台相比，其最小运动增量更加接近于分辨率。
[3]：精度测量数据是平台在水平放置的情况下使用激光干涉仪测量的数据，测量标准参照GB/T17421-2000。
[4]：典型值和保证值的区别见技术指南。
[5]：最大速度为典型值，根据负载和控制器的不同会有区别。
