FMS140C-100整体台面大行程平移台
长行程、高精度、低幅面
在高精度应用领域，菲克科技推出全新长行程高精度交叉滚柱位移台，弥补了长行程直线导轨和短行程交叉滚柱导轨位移台之间的市场空缺，以亚微米级重复定位精度和灵活的行程选择，为光学元件精密调整、光纤耦合、半导体检测等应用提供理想解决方案。
主要特点
长行程范围，满足更多应用需求: 100mm行程范围，突破了传统交叉滚柱导轨位移台行程受限的瓶颈，为更多应用场景提供可能。
高精度定位，确保准确性：采用高精度交叉滚柱导轨和精密加工工艺，实现亚微米级重复定位精度，满足高精度应用需求。
一体化集成设计，保证稳定可靠: 高精度一体化集成式交叉滚柱导轨，运行精度达G1级，确保了更高的直线度和更小的体积，同时减少了装配误差，提升了整体稳定性和可靠性。
低幅面、低宽度、大承载设计: 结构紧凑，节省空间，同时具备强大的承载能力，满足不同应用场景的需求。
超静音运行，打造舒适环境: 超静音位移台，适用于对噪音敏感的实验室环境和高性能工业场所。
强大软件支持，轻松操控: 免费标准版 SDK，支持 Window、Linux 环境下多种开发语言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等)，方便用户进行二次开发和系统集成。
高性能控制器，实现复杂运动: 控制器支持圆弧插补、直线插补、位置记忆和任意图形导入，可满足各种复杂运动控制需求。
灵活通讯，无缝连接: 可选配 EtherCAT 总线控制，实现高速、稳定的数据传输。
产品应用
光电子 Optoelectronics、显微扫描 Microscan、光学延迟线 Optical Delay Line、光机 Optical Machine、精密测量 Precision Measurement 、半导体 Semiconduct
组合搭配
It can be flexibly combined into multi-axis motion system,Contact for more information
性能实测
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Model |
FMS140C-100 |
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行程 Travel(mm) |
100 |
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负载 Load Capacity(Kg)[1] |
10 |
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分辨率 Resolution(μm) |
0.1 |
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最小步进量 Min.Incremental Motion(μm)[2] |
0.3 |
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单向重复定位精度/保证值 Undirection Repeatability[3]/Guaranteed(μm)[4] |
±0.5 or 1 |
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单向重复定位精度/典型值 Undirection Repeatability/Typical(μm) |
±0.3 or 0.6 |
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双向重复定位精度/保证值 Bi-Directional Repeatability/Guaranteed(μm) |
±1 or 2 |
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双向重复定位精度/典型值 Bi-Directional Repeatability/Typical(μm) |
±0.5 or 1 |
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定位精度/保证值 Accuracy[3]/Guaranteed(μm) |
±2 or 4 |
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定位精度/典型值 Accuracy/Typical(μm) |
±0.5 or 1 |
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最大速度 Max.Speed(mm/s)[5] |
100 |
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直线度 Straightness(μm) |
6 |
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平整度 Flatness(μm) |
6 |
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偏摆 Yaw(arcsec) |
15 |
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俯仰 Pitch(arcsec) |
15 |
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持续推力 Continuous Force(N) |
17.6 |
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峰值推力 Peak Force(N) |
88 |
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重量 Weight(kg) |
3.6 |
※ 备注
[1]：水平放置下的中心垂直负载。
[2]：最小运动增量不等同于分辨率，最小运动增量是指运动系统在连续、稳定情况下能够移动的最小量。一般来说，系统分辨率远小于最小运动增量。考虑传动结构和编码器对系统误差的影响，直线电机位移台与步进电机位移台相比，其最小运动增量更加接近于分辨率。
[3]：精度测量数据是平台在水平放置的情况下使用激光干涉仪测量的数据，测量标准参照GB/T17421-2000。
[4]：典型值和保证值的区别见技术指南。
[5]：最大速度为典型值，根据负载和控制器的不同会有区别。
