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FMS95R-20伺服电机高精度整体台面平移台
高精度、紧凑设计、集成灵活
FMS95R-20 是一款专为高精度光纤耦合和三维调整应用而设计的直流伺服位移台，性能卓越。该产品采用紧凑设计，性能优异，提供丰富的软件支持，可轻松集成到各种光学实验和精密自动化系统中。
主要特点
高精度定位，稳定可靠： 采用高精度交叉滚轴导轨和高品质直流伺服一体化丝杠电机，结合菲克科技标准化安装工艺，确保了卓越的运动精度、高重复性和长期稳定的可靠性。
紧凑型设计，节省空间： 20mm 行程，薄型机身设计，节省宝贵空间，轻松应对各种空间受限的应用场景。
强大软件支持，轻松操控: 免费标准版 SDK，支持 Window、Linux 环境下多种开发语言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等)，方便用户进行二次开发和系统集成。
高性能控制器，实现复杂运动: 控制器支持圆弧插补、直线插补、位置记忆和任意图形导入，可满足各种复杂运动控制需求。
灵活通讯，无缝连接: 可选配 EtherCAT 总线控制，实现高速、稳定的数据传输。
产品应用
显微成像 Microscopic Imaging、激光加工 Laser Processing 、高速扫描 High-Velocity Scanning、精密测量 Precision Measurement
组合搭配
It can be flexibly combined into multi-axis motion system,Contact for more information
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Model |
FMS95R-20 |
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行程 Travel(mm) |
20 |
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负载 Load Capacity(Kg)[1] |
10 |
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分辨率 Resolution(um) |
0.1 |
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最小步进量 Min.Incremental Motion(um)[2] |
0.5 |
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单向重复定位精度/保证值 Undirection Repeatability[3]/Guaranteed(μm)[4] |
±0.3 or 0.6 |
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单向重复定位精度/典型值 Undirection Repeatability/Typical(μm) |
±0.2 or 0.4 |
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双向重复定位精度/保证值 Bi-Directional Repeatability/Guaranteed(μm) |
±0.5 or 1 |
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双向重复定位精度/典型值 Bi-Directional Repeatability/Typical(μm) |
±0.3 or 0.6 |
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定位精度/保证值 Accuracy[3]/Guaranteed(μm) |
±2 or 4 |
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定位精度/典型值 Accuracy/Typical(μm) |
±1.6 or 3.2 |
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最大速度 Max.Speed(mm/s)[5] |
10 |
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直线度 Straightness(μm) |
10 |
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平整度 Flatness(μm) |
10 |
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偏摆 Yaw(arcsec) |
15 |
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俯仰 Pitch(arcsec) |
15 |
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重量 Weight(kg) |
1.45 |
※ 备注
[1]：水平放置下的中心垂直负载。
[2]：最小运动增量不等同于分辨率，最小运动增量是指运动系统在连续、稳定情况下能够移动的最小量。一般来说，系统分辨率远小于最小运动增量。考虑传动结构和编码器对系统误差的影响，直线电机位移台与步进电机位移台相比，其最小运动增量更加接近于分辨率。
[3]：精度测量数据是平台在水平放置的情况下使用激光干涉仪测量的数据，测量标准参照GB/T17421-2000。
[4]：典型值和保证值的区别见技术指南。
[5]：最大速度为典型值，根据负载和控制器的不同会有区别。
