FMSXXY170Z-200-200 直线电机龙门双驱平台
高精度、高承载、定制灵活
菲克科技 FMSXXY170Z-200-200 直线电机龙门双驱平台专为需要高精度二维定位的实验室和工业应用而设计。该平台采用一体化大理石台面设计,搭载双驱龙门结构和高性能直线电机,实现了亚微米级的重复定位精度和更高的承载能力。FMSXXY170Z-200-200 平台还预留了 Z 轴挂载接口,方便扩展三维运动控制,并支持定制行程、精度和承载,满足多样化的应用需求。
主要特点
一体化大理石台面,精度稳定可靠: 采用一体化大理石台面设计,确保了平台的基底精度和稳定性,为高精度定位提供了坚实基础。
X 轴龙门双驱结构,同步性更佳: X 轴采用龙门双驱结构,有效消除了 Abbe 误差,保证了平台运动的同步性和直线度,进一步提升了定位精度。
Y 轴预留 Z 轴挂载接口,轻松扩展三维运动: 可根据需求在 Y 轴上集成 Z 轴电动位移台,轻松实现三维空间的精确定位和运动控制。
高分辨率直线电机,精细控制,响应迅速: 采用高分辨率直线电机驱动,配合菲克科技高性能控制器,可实现微米级的精细定位,并具备快速响应能力,满足动态应用需求。
行程、精度、承载均可定制,满足个性化需求: 可根据客户需求定制平台行程、精度和承载能力,满足不同应用场景的个性化需求。
超静音运行,打造舒适环境: 超静音位移台,适用于对噪音敏感的实验室环境和高性能工业场所。
强大软件支持,轻松操控: 免费标准版 SDK,支持 Window、Linux 环境下多种开发语言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等),方便用户进行二次开发和系统集成。
高性能控制器,实现复杂运动: 控制器支持圆弧插补、直线插补、位置记忆和任意图形导入,可满足各种复杂运动控制需求。
灵活通讯,无缝连接: 可选配 EtherCAT 总线控制,实现高速、稳定的数据传输。
产品应用
点胶机 Dispenser、显微扫描 Microscan、机器视觉 Machine Vision、瑕疵检测 Defect Detection、晶圆检测 Wafer Inspection、生物三D打印 Bio 3D Printing
组合搭配
It can be flexibly combined into multi-axis motion system,Contact for more information
性能实测
Model |
FMSXXY170Z-200-200 |
行程 Travel(mm) |
200(XY) |
负载 Load Capacity(Kg)[1] |
30 |
分辨率 Resolution(μm) |
0.05 |
最小步进量 Min.Incremental Motion(μm)[2] |
0.2 |
单向重复定位精度/保证值 Undirection Repeatability[3]/Guaranteed(μm)[4] |
±0.5 or 1 |
单向重复定位精度/典型值 Undirection Repeatability/Typical(μm) |
±0.3 or 0.6 |
双向重复定位精度/保证值 Bi-Directional Repeatability/Guaranteed(μm) |
±1 or 2 |
双向重复定位精度/典型值 Bi-Directional Repeatability/Typical(μm) |
±0.5 or 1 |
定位精度/保证值 Accuracy[3]/Guaranteed(μm) |
±2 or 4 |
定位精度/典型值 Accuracy/Typical(μm) |
±1 or 2 |
最大速度 Max.Speed(mm/s)[5] |
500 |
直线度 Straightness(μm) |
10 |
平整度 Flatness(μm) |
10 |
偏摆 Yaw(arcsec) |
10 |
俯仰 Pitch(arcsec) |
10 |
重量 Weight(kg) |
52 |
※ 备注
[1]:水平放置下的中心垂直负载。
[2]:最小运动增量不等同于分辨率,最小运动增量是指运动系统在连续、稳定情况下能够移动的最小量。一般来说,系统分辨率远小于最小运动增量。考虑传动结构和编码器对系统误差的影响,直线电机位移台与步进电机位移台相比,其最小运动增量更加接近于分辨率。
[3]:精度测量数据是平台在水平放置的情况下使用激光干涉仪测量的数据,测量标准参照GB/T17421-2000。
[4]:典型值和保证值的区别见技术指南。
[5]:最大速度为典型值,根据负载和控制器的不同会有区别。