FMSXY360C-200-200 直线电机二维扫描平台
高精度、一体化设计、灵活集成
菲克科技 FMSXY360C-200-200 直线电机二维扫描平台,专为需要高精度二维定位的实验室和工业应用而设计。FMSXY360C-200-200 平台采用直线电机驱动,具备高精度、高稳定性、低噪音等特点,一体化设计,易于集成,提供多种行程和配置选择,满足多样化的应用需求。
主要特点
行程、精度、承载均可定制,满足个性化需求: 可根据客户需求定制平台行程、精度和承载能力,满足不同应用场景的个性化需求。
一体化台面设计,稳定可靠: 采用一体化台面设计,结合高品质直线电机和导轨,配合菲克科技标准化安装工艺,确保卓越的运动精度和长期稳定的可靠性,Pitch 和 Yaw 精度表现优异。
高分辨率,精细控制: FMSXY360C-200-200 平台采用直线电机驱动,拥有极佳的微步能力,配合菲克科技高性能控制器,可实现亚微米级的精细定位,满足对极致精度的追求。
无预留中孔,承载能力强: 无预留中孔设计,可适配更大尺寸的应用场景,承载能力强。
超静音运行,打造舒适环境: 超静音位移台,适用于对噪音敏感的实验室环境和高性能工业场所。
强大软件支持,轻松操控: 免费标准版 SDK,支持 Window、Linux 环境下多种开发语言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等),方便用户进行二次开发和系统集成。
高性能控制器,实现复杂运动: 控制器支持圆弧插补、直线插补、位置记忆和任意图形导入,可满足各种复杂运动控制需求。
灵活通讯,无缝连接: 可选配 EtherCAT 总线控制,实现高速、稳定的数据传输。
产品应用
二维扫描 2D Scan、机器视觉 Machine Vision、瑕疵检测 Defect Detection、工业设备 Industrial Equipment
组合搭配
It can be flexibly combined into multi-axis motion system,Contact for more information
性能实测
Model |
FMSXY360C-200-200 |
行程 Travel(mm) |
200(XY) |
负载 Load Capacity(Kg)[1] |
10 |
分辨率 Resolution(μm) |
0.05 |
最小步进量 Min.Incremental Motion(μm)[2] |
0.2 |
单向重复定位精度/保证值 Undirection Repeatability[3]/Guaranteed(μm)[4] |
±0.5 or 1 |
单向重复定位精度/典型值 Undirection Repeatability/Typical(μm) |
±0.3 or 0.6 |
双向重复定位精度/保证值 Bi-Directional Repeatability/Guaranteed(μm) |
±1 or 2 |
双向重复定位精度/典型值 Bi-Directional Repeatability/Typical(μm) |
±0.5 or 1 |
定位精度/保证值 Accuracy[3]/Guaranteed(μm) |
±2 or 4 |
定位精度/典型值 Accuracy/Typical(μm) |
±1 or 2 |
最大速度 Max.Speed(mm/s)[5] |
500 |
直线度 Straightness(μm) |
10 |
平整度 Flatness(μm) |
10 |
偏摆 Yaw(arcsec) |
20 |
俯仰 Pitch(arcsec) |
20 |
重量 Weight(kg) |
32 |
※ 备注
[1]:水平放置下的中心垂直负载。
[2]:最小运动增量不等同于分辨率,最小运动增量是指运动系统在连续、稳定情况下能够移动的最小量。一般来说,系统分辨率远小于最小运动增量。考虑传动结构和编码器对系统误差的影响,直线电机位移台与步进电机位移台相比,其最小运动增量更加接近于分辨率。
[3]:精度测量数据是平台在水平放置的情况下使用激光干涉仪测量的数据,测量标准参照GB/T17421-2000。
[4]:典型值和保证值的区别见技术指南。
[5]:最大速度为典型值,根据负载和控制器的不同会有区别。