FMSRS 扇形位移台
高精度、弧形导轨,专业控制软件
菲克科技 FMSRS 扇形位移台,专为需要在一定角度范围内进行高精度旋转运动的应用而设计。FMSRS 扇形位移台采用弧形直线电机驱动,结合高精度弧形导轨和高品质光栅尺反馈系统,具备高精度、高稳定性、低噪音等特点。其结构紧凑,易于集成,提供多种控制方式,满足多样化的应用需求。
主要特点
大行程覆盖,满足更多应用需求: 提供高达 60° 的旋转范围,结构紧凑,可灵活集成于各种空间受限的应用场景。
精密结构,稳定可靠: 采用高精度弧形导轨和高品质弧形直线电机,结合菲克科技标准化安装工艺,确保卓越的运动精度和长期稳定的可靠性。
高分辨率,精细控制: FMSRS 扇形位移台采用弧形直线电机驱动,高分辨率光栅尺反馈,拥有极佳的微步能力,配合菲克科技高性能控制器,分辨率可达 0.001°,
超静音运行,打造舒适环境: 超静音位移台,适用于对噪音敏感的实验室环境和高性能工业场所。
强大软件支持,轻松操控: 提供专业的控制软件,方便用户进行操作和参数设置。免费标准版 SDK,支持 Window、Linux 环境下多种开发语言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等),方便用户进行二次开发和系统集成。
高性能控制器,实现复杂运动: 控制器支持圆弧插补、直线插补、位置记忆和任意图形导入,可满足各种复杂运动控制需求。
灵活通讯,无缝连接: 可选配 EtherCAT 总线控制,实现高速、稳定的数据传输。
产品应用
光路切换 Optical Path Switching、工业CT Industrial CT 、半导体检测 Semiconductor Inspection、机器视觉 Machine Vision、医疗医美 Medical Beauty
Model |
FMSRS300-60 |
行程 Travel(°) |
60 |
负载 Load Capacity(Kg)[1] |
10 |
分辨率 Resolution(°) |
0.001 |
最小步进量 Min.Incremental Motion(°)[2] |
0.002 |
单向重复定位精度/保证值 Undirection Repeatability[3]/Guaranteed(°)[4] |
±0.005 or 0.01 |
单向重复定位精度/典型值 Undirection Repeatability/Typical(°) |
±0.003 or 0.006 |
双向重复定位精度/保证值 Bi-Directional Repeatability/Guaranteed(°) |
±0.01 or 0.02 |
双向重复定位精度/典型值 Bi-Directional Repeatability/Typical(°) |
±0.02 or 0.04 |
定位精度/保证值 Accuracy[3]/Guaranteed(°) |
±0.02 or 0.04 |
定位精度/典型值 Accuracy/Typical(°) |
±0.03 or 0.06 |
最大速度 Max.Speed(°/s)[5] |
10 |
平整度 Flatness(μm) |
15 |
偏摆 Yaw(arcsec) |
15 |
俯仰 Pitch(arcsec) |
15 |
重量 Weight(kg) |
14.5 |
※ 备注
[1]:水平放置下的中心垂直负载。
[2]:最小运动增量不等同于分辨率,最小运动增量是指运动系统在连续、稳定情况下能够移动的最小量。一般来说,系统分辨率远小于最小运动增量。考虑传动结构和编码器对系统误差的影响,直线电机位移台与步进电机位移台相比,其最小运动增量更加接近于分辨率。
[3]:精度测量数据是平台在水平放置的情况下使用激光干涉仪测量的数据,测量标准参照GB/T17421-2000。
[4]:典型值和保证值的区别见技术指南。
[5]:最大速度为典型值,根据负载和控制器的不同会有区别。