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FMSZ 系列真空步进电机升降台
高精度、真空环境、稳定可靠、不锈钢材质
菲克科技 FMSZ 系列真空步进电机升降台，专为需要在高真空环境下进行精密垂直定位的应用而设计。FMSZ 系列升降台采用真空专用电机和不锈钢主体，保证高真空度，同时具备高精度、高稳定性等特点，模块化设计易于与菲克科技其他产品集成，搭建多维位移平台，满足多样化的应用需求。
主要特点
多种行程可选，满足更多应用需求: 提供 20mm 和 50mm 两种行程选择，并可根据客户需求定制其他行程，结构紧凑，可灵活集成于各种空间受限的应用场景。
真空环境适用，无惧极端条件： 可在 10-7~ 10-3Pa 真空度和 -196 ~ +250℃ 的高低温环境下稳定工作，同时具备抗辐射干扰能力，轻松应对各种极端条件下的精密操控需求。
高精度定位，稳定可靠： 采用高品质步进电机和精密导轨，结合菲克科技标准化安装工艺，确保卓越的运动精度和长期稳定的可靠性。
坚固耐用，持久稳定： 采用不锈钢材质，结构坚固，确保长时间稳定可靠运行，延长使用寿命。
模块化设计，集成灵活: 可与菲克科技其他产品轻松集成，搭建多维位移平台，满足更多应用需求。
强大软件支持，轻松操控: 免费标准版 SDK，支持 Window、Linux 环境下多种开发语言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等)，方便用户进行二次开发和系统集成。
产品应用
样品台 Sample Stage、姿态调整 Posture Adjustment、光学测试 Optical Test、光学设备 Optical Equipment
组合搭配
It can be flexibly combined into multi-axis motion system,Contact for more information
性能实测
|
Model |
FMSZ85VR-20 |
FMSZ115VR-50 |
FMSZ80V-50 |
|
行程 Travel(mm) |
20 |
50 |
50 |
|
负载 Load Capacity(Kg)[1] |
5 |
10 |
10 |
|
分辨率 Resolution(μm) |
0.625 |
0.625 |
0.625 |
|
最小步进量 Min.Incremental Motion(μm)[2] |
2 |
2 |
1 |
|
单向重复定位精度/保证值 Undirection Repeatability[3]/Guaranteed(μm)[4] |
±1 or 2 |
±2 or 4 |
±1 or 2 |
|
单向重复定位精度/典型值 Undirection Repeatability/Typical(μm) |
±0.5 or 1 |
±1 or 2 |
±0.5 or 1 |
|
双向重复定位精度/保证值 Bi-Directional Repeatability/Guaranteed(μm) |
±2.5 or 5 |
±3 or 6 |
±2 or 4 |
|
双向重复定位精度/典型值 Bi-Directional Repeatability/Typical(μm) |
±1 or 2 |
±2 or 4 |
±1 or 2 |
|
定位精度/保证值 Accuracy[3]/Guaranteed(μm) |
±15 or 30 |
±20 or 40 |
±10 or 20 |
|
定位精度/典型值 Accuracy/Typical(μm) |
±10 or 20 |
±15 or 30 |
±5 or 10 |
|
最大速度 Max.Speed(mm/s)[5] |
10 |
10 |
20 |
|
直线度 Straightness(μm) |
15 |
15 |
10 |
|
平整度 Flatness(μm) |
15 |
15 |
10 |
|
偏摆 Yaw(arcsec) |
30 |
40 |
30 |
|
俯仰 Pitch(arcsec) |
30 |
40 |
30 |
|
重量 Weight(kg) |
3.2 |
6.8 |
5.2 |
※ 备注
[1]：水平放置下的中心垂直负载。
[2]：最小运动增量不等同于分辨率，最小运动增量是指运动系统在连续、稳定情况下能够移动的最小量。一般来说，系统分辨率远小于最小运动增量。考虑传动结构和编码器对系统误差的影响，直线电机位移台与步进电机位移台相比，其最小运动增量更加接近于分辨率。
[3]：精度测量数据是平台在水平放置的情况下使用激光干涉仪测量的数据，测量标准参照GB/T17421-2000。
[4]：典型值和保证值的区别见技术指南。
[5]：最大速度为典型值，根据负载和控制器的不同会有区别。
