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FMSR100V 真空步进电机旋转台
高精度、真空环境、稳定可靠、不锈钢材质
菲克科技 FMSR100V 真空步进电机旋转台，专为在真空环境下需要进行精确角度定位的应用而设计。FMSR100V真空旋转台采用真空专用电机和不锈钢主体，保证高真空度，同时具备高精度、高稳定性等特点，模块化设计易于与菲克科技其他产品集成，搭建多维位移平台，满足多样化的应用需求。
主要特点
真空环境，稳定可靠: 采用特殊材料和真空兼容设计，可在 10⁻⁷ Pa 至 10⁻³ Pa 的真空环境下长期稳定运行。
耐受极温，性能依旧: 在 -196°C 至 +250°C 的极端温度范围内依然能够保持高精度和稳定性。
不锈钢材质，坚固耐用: 采用不锈钢材质，耐腐蚀，抗氧化，坚固耐用，可确保以 50mm × 50mm 的最大行程进行可靠的 XY 轴组装。
强大软件支持，轻松操控: 免费标准版 SDK，支持 Window、Linux 环境下多种开发语言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等)，方便用户进行二次开发和系统集成。
产品应用
论证测试 Argument Test、演示实验 Demo Experiment、高端教学实验 High-end Teaching Experiment、普通实验仪器设备 Ordinary Experimental Equipment
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Model |
FMSR100V |
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行程 Travel(°) |
360 |
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负载 Load Capacity(Kg)[1] |
25 |
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分辨率 Resolution(°) |
0.0025 |
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最小步进量 Min.Incremental Motion(°)[2] |
0.01 |
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单向重复定位精度/保证值 Undirection Repeatability[3]/Guaranteed(°)[4] |
±0.005 or 0.01 |
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单向重复定位精度/典型值 Undirection Repeatability/Typical(°) |
±0.003 or 0.006 |
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双向重复定位精度/保证值 Bi-Directional Repeatability/Guaranteed(°) |
±0.01 or 0.02 |
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双向重复定位精度/典型值 Bi-Directional Repeatability/Typical(°) |
±0.005 or 0.01 |
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定位精度/保证值 Accuracy[3]/Guaranteed(°) |
±0.05 or 0.1 |
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定位精度/典型值 Accuracy/Typical(°) |
±0.03 or 0.06 |
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最大速度 Max.Speed(°/s)[5] |
20 |
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端跳/保证值 Face Runout/Guaranteed(μm) |
25 |
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径跳/保证值 Radial Runout/Guaranteed(μm) |
25 |
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重量 Weight(kg) |
5.9 |
※ 备注
[1]：水平放置下的中心垂直负载。
[2]：最小运动增量不等同于分辨率，最小运动增量是指运动系统在连续、稳定情况下能够移动的最小量。一般来说，系统分辨率远小于最小运动增量。考虑传动结构和编码器对系统误差的影响，直线电机位移台与步进电机位移台相比，其最小运动增量更加接近于分辨率。
[3]：精度测量数据是平台在水平放置的情况下使用激光干涉仪测量的数据，测量标准参照GB/T17421-2000。
[4]：典型值和保证值的区别见技术指南。
[5]：最大速度为典型值，根据负载和控制器的不同会有区别。
