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FMS80R系列步进电机高精度整体台面平移台
大台面，高精度，薄机身
菲克科技FMS80R系列平移台专为需要更大样品承载能力和灵活性的精密定位应用而设计。该系列采用精密交叉滚柱导轨和步进电机驱动，结合大台面和薄型设计，可在各种科研和工业应用中提供卓越的运动控制性能。
主要特点
行程范围可选，满足更多应用需求: 提供 30mm、50mm 两种行程选择，满足不同应用需求。
大台面设计，扩展应用可能: 宽大的台面尺寸，不仅为样品提供更多空间，更可轻松实现多维组合，拓展应用场景。
高精度定位，稳定可靠: 采用日本THK公司P级交叉滚柱导轨和上海鸣志电机，保证了平稳、精确的运动，重复定位精度高达±2μm。
薄型设计，节省宝贵空间: 紧凑的薄型设计，在保证性能的同时最大程度节省空间，尤其适用于对空间要求严苛的应用场景。
强大软件支持，轻松操控: 免费标准版 SDK，支持 Window、Linux 环境下多种开发语言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等)，方便用户进行二次开发和系统集成。
产品应用
激光打靶 Laser Target、光机 Optical Machine、晶圆切割 Wafer Cutting、晶圆打磨 Wafer Grinding
组合搭配
It can be flexibly combined into multi-axis motion system,Contact for more information
性能实测
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Model |
FMS80R-30 |
FMS80R-50 |
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行程 Travel(mm) |
30 |
50 |
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负载 Load Capacity(Kg)[1] |
10 |
10 |
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分辨率 Resolution(μm) |
0.625 |
0.625 |
|
最小步进量 Min.Incremental Motion(μm)[2] |
1 |
1 |
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单向重复定位精度/保证值 Undirection Repeatability[3]/Guaranteed(μm)[4] |
±1 or 2 |
±1 or 2 |
|
单向重复定位精度/典型值 Undirection Repeatability/Typical(μm) |
±0.5 or 1 |
±0.5 or 1 |
|
双向重复定位精度/保证值 Bi-Directional Repeatability/Guaranteed(μm) |
±2 or 4 |
±2 or 4 |
|
双向重复定位精度/典型值 Bi-Directional Repeatability/Typical(μm) |
±1 or 2 |
±1 or 2 |
|
定位精度/保证值 Accuracy[3]/Guaranteed(μm) |
±10 or 20 |
±10 or 20 |
|
定位精度/典型值 Accuracy/Typical(μm) |
±5 or 10 |
±5 or 10 |
|
最大速度 Max.Speed(mm/s)[5] |
10 |
10 |
|
直线度 Straightness(μm) |
10 |
10 |
|
平整度 Flatness(μm) |
10 |
10 |
|
偏摆 Yaw(arcsec) |
20 |
30 |
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俯仰 Pitch(arcsec) |
20 |
30 |
|
重量 Weight(kg) |
1.3 |
1.3 |
※ 备注
[1]：水平放置下的中心垂直负载。
[2]：最小运动增量不等同于分辨率，最小运动增量是指运动系统在连续、稳定情况下能够移动的最小量。一般来说，系统分辨率远小于最小运动增量。考虑传动结构和编码器对系统误差的影响，直线电机位移台与步进电机位移台相比，其最小运动增量更加接近于分辨率。
[3]：精度测量数据是平台在水平放置的情况下使用激光干涉仪测量的数据，测量标准参照GB/T17421-2000。
[4]：典型值和保证值的区别见技术指南。
[5]：最大速度为典型值，根据负载和控制器的不同会有区别。
