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FMS115R系列步进电机高精度整体大台面平移台
大台面，高精度，薄机身，大负载
菲克科技FMS80R系列平移台专为需要更大样品承载能力和灵活性的精密定位应用而设计。该系列采用精密交叉滚柱导轨和步进电机驱动，结合大台面和薄型设计，可在各种科研和工业应用中提供卓越的运动控制性能。
主要特点
行程范围可选，满足更多应用需求: 提供 50mm 和 100mm 两种行程选择，配合低幅面方形台面设计，方便多维叠加，轻松应对各种空间受限的应用。
精密结构，稳定可靠： 采用高精度交叉滚柱导轨和高品质丝杠，确保了卓越的运动精度。菲克科技标准化安装工艺，进一步提升了产品的稳定性和可靠性。
超高分辨率，精细控制： FMS115R 系列位移台拥有优异的机械分辨率，配合菲克科技高性能控制器，可实现微米级甚至微米级的精细定位，满足您对极致精度的追求。
强大软件支持，轻松操控: 免费标准版 SDK，支持 Window、Linux 环境下多种开发语言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等)，方便用户进行二次开发和系统集成。
高性能控制器，实现复杂运动: 控制器支持圆弧插补、直线插补、位置记忆和任意图形导入，可满足各种复杂运动控制需求。
灵活通讯，无缝连接: 可选配 EtherCAT 总线控制，实现高速、稳定的数据传输。
产品应用
光机实验 Opto-Mechanical Experiment、精密测量 Precision Measurement、通用仪器设备制造 General Instrument Manufacturing
组合搭配
It can be flexibly combined into multi-axis motion system,Contact for more information
性能实测
|
Model |
FMS115R-50 |
FMS115R-100 |
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行程 Travel(mm) |
50 |
100 |
|
负载 Load Capacity(Kg)[1] |
20 |
20 |
|
分辨率 Resolution(μm) |
0.625 |
0.625 |
|
最小步进量 Min.Incremental Motion(μm)[2] |
2 |
2 |
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单向重复定位精度/保证值 Undirection Repeatability[3]/Guaranteed(μm)[4] |
±2 or 4 |
±2 or 4 |
|
单向重复定位精度/典型值 Undirection Repeatability/Typical(μm) |
±1 or 2 |
±1 or 2 |
|
双向重复定位精度/保证值 Bi-Directional Repeatability/Guaranteed(μm) |
±3 or 6 |
±3 or 6 |
|
双向重复定位精度/典型值 Bi-Directional Repeatability/Typical(μm) |
±2 or 4 |
±2 or 4 |
|
定位精度/保证值 Accuracy[3]/Guaranteed(μm) |
±15 or 30 |
±15 or 30 |
|
定位精度/典型值 Accuracy/Typical(μm) |
±10 or 20 |
±10 or 20 |
|
最大速度 Max.Speed(mm/s)[5] |
10 |
10 |
|
直线度 Straightness(μm) |
10 |
12 |
|
平整度 Flatness(μm) |
10 |
12 |
|
偏摆 Yaw(arcsec) |
25 |
30 |
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俯仰 Pitch(arcsec) |
25 |
30 |
|
重量 Weight(kg) |
2.6 |
3.2 |
※ 备注
[1]：水平放置下的中心垂直负载。
[2]：最小运动增量不等同于分辨率，最小运动增量是指运动系统在连续、稳定情况下能够移动的最小量。一般来说，系统分辨率远小于最小运动增量。考虑传动结构和编码器对系统误差的影响，直线电机位移台与步进电机位移台相比，其最小运动增量更加接近于分辨率。
[3]：精度测量数据是平台在水平放置的情况下使用激光干涉仪测量的数据，测量标准参照GB/T17421-2000。
[4]：典型值和保证值的区别见技术指南。
[5]：最大速度为典型值，根据负载和控制器的不同会有区别。
