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FMSZ65C-08 直线电机迷你升降台
微型、高精度
菲克科技 FMSZ65C-08 直线电机升降台专为空间极其有限、精度要求极高的应用场景而设计。FMSZ65C-08 采用直线电机驱动，配合紧凑的气缸配重设计和双交叉滚柱导轨结构，在 8mm 的超短行程内实现 ±0.1μm 的极限双向重复定位精度。
主要特点
超紧凑设计，应对空间挑战： 8mm 行程，气缸配重设计，将体积压缩到极致，轻松集成于各种空间受限的应用场景。
双重导轨，稳定性加倍： 采用两套交叉滚柱导轨，提供更强的导向稳定性，确保 ±0.1μm 的极限双向重复定位精度。
自适应负载，性能始终如一： 气缸配重设计，可根据负载变化自动调节，确保在不同负载情况下都能保持稳定的运动性能和定位精度。
高分辨率，精细控制： 直线电机驱动，拥有极佳的微步能力，配合菲克科技高性能控制器，可实现微米级的精细定位。
超静音运行，打造舒适环境: 超静音位移台，适用于对噪音敏感的实验室环境和高性能工业场所。
强大软件支持，轻松操控: 免费标准版 SDK，支持 Window、Linux 环境下多种开发语言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等)，方便用户进行二次开发和系统集成。
高性能控制器，实现复杂运动: 控制器支持圆弧插补、直线插补、位置记忆和任意图形导入，可满足各种复杂运动控制需求。
灵活通讯，无缝连接: 可选配 EtherCAT 总线控制，实现高速、稳定的数据传输。
产品应用
激光 Laser、样品台 Sample stage、光机试验 Opto-mechanical Test、精密测试设备 Precision Test Equipment
组合搭配
It can be flexibly combined into multi-axis motion system,Contact for more information
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Model |
FMSZ65C-08 |
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行程 Travel(mm) |
8 |
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负载 Load Capacity(Kg)[1] |
0.5 |
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分辨率 Resolution(μm) |
0.05 |
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最小步进量 Min.Incremental Motion(μm)[2] |
0.3 |
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单向重复定位精度/保证值 Undirection Repeatability[3]/Guaranteed(μm)[4] |
±0.5 or 1 |
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单向重复定位精度/典型值 Undirection Repeatability/Typical(μm) |
±0.2 or 0.4 |
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双向重复定位精度/保证值 Bi-Directional Repeatability/Guaranteed(μm) |
±1 or 2 |
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双向重复定位精度/典型值 Bi-Directional Repeatability/Typical(μm) |
±0.5 or 1 |
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定位精度/保证值 Accuracy[3]/Guaranteed(μm) |
±2 or 4 |
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定位精度/典型值 Accuracy/Typical(μm) |
±0.5 or 1 |
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最大速度 Max.Speed(mm/s)[5] |
100 |
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直线度 Straightness(μm) |
5 |
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平整度 Flatness(μm) |
5 |
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持续推力 Continuous Force(N) |
7.4 |
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峰值推力 Peak Force(N) |
29 |
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重量 Weight(kg) |
0.6 |
※ 备注
[1]：水平放置下的中心垂直负载。
[2]：最小运动增量不等同于分辨率，最小运动增量是指运动系统在连续、稳定情况下能够移动的最小量。一般来说，系统分辨率远小于最小运动增量。考虑传动结构和编码器对系统误差的影响，直线电机位移台与步进电机位移台相比，其最小运动增量更加接近于分辨率。
[3]：精度测量数据是平台在水平放置的情况下使用激光干涉仪测量的数据，测量标准参照GB/T17421-2000。
[4]：典型值和保证值的区别见技术指南。
[5]：最大速度为典型值，根据负载和控制器的不同会有区别。
