FMSR-AB 系列气浮转台
超精密、无摩擦、持久稳定
菲克科技 FMSR-AB 系列气浮转台专为需要超高精度旋转定位的实验室和工业应用而设计。FMSR-AB 系列转台采用独特的空气轴承技术,以空气膜作为润滑介质,实现了无摩擦、无磨损的旋转运动,具备超高精度、高稳定性、长寿命等特点,是光学、精密测量、半导体制造等领域中各种高精度应用的理想选择。
主要特点
多种尺寸可选,灵活满足应用需求: 提供150mm -250mm 多种台面直径选择。
无摩擦、无磨损,精度持久稳定: 采用独特的空气轴承技术,以空气膜代替传统机械接触,消除了摩擦和磨损,保证了设备的超高精度和长期稳定性,实验结果更可靠。
微米级跳动误差,满足极致精度追求: 气浮轴承技术提供了无与伦比的运动平稳性,将俯仰、偏摆、滚动、偏航和线性误差降至微米级,轻松满足对极致精度的追求。
闭式气浮轴承结构,免维护,使用寿命更长: 采用闭式气浮轴承结构,无需润滑油,免维护,使用寿命更长,是您进行长期精密实验的理想选择。
直驱驱动,零齿槽效应,运动更平滑: 采用直驱电机驱动,消除了齿槽效应,实现了更快速、更精准的运动控制,运动更平滑,定位更精准。
高分辨率,精细控制,实现微米级定位: FMSR-AB 系列转台拥有极佳的微步能力,配合菲克科技高性能控制器,可实现±3arcsec双向重复定位精度,满足对极致精度的追求。
强大软件支持,轻松操控: 免费标准版 SDK,支持 Window、Linux 环境下多种开发语言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等),方便用户进行二次开发和系统集成。
高性能控制器,实现复杂运动: 控制器支持圆弧插补、直线插补、位置记忆和任意图形导入,可满足各种复杂运动控制需求。
灵活通讯,无缝连接: 可选配 EtherCAT 总线控制,实现高速、稳定的数据传输。
产品应用
圆度测量系统 Roundness measurement system、微米或纳米断层扫描成像 Micron or nano tomography imaging、精密制造 Precision manufacturing、同步辐射或X射线 Synchrotron radiation or X-rays、半导体行业 Semiconductor industry
组合搭配
It can be flexibly combined into multi-axis motion system,Contact for more information
Model |
FMSR150-AB |
FMSR200-AB |
FMSR250-AB |
行程 Travel(mm) |
360 |
360 |
360 |
额定扭矩 Rated Torque(N.M) |
0.54 |
1.9 |
4.2 |
峰值扭矩 Peak Torque(N.M) |
2.2 |
5.8 |
15.8 |
负载 Load Capacity(Kg)[1] |
30 |
30 |
30 |
分辨率 Resolution(arcsec) |
0.2 |
0.2 |
0.2 |
最小步进量 Min.Iincremental Motion(arcsec)[2] |
1 |
1 |
1 |
单向重复定位精度/保证值 Undirection Repeatability[3]/Guaranteed(arcsec)[4] |
±2 or 4 |
±2 or 4 |
±2 or 4 |
单向重复定位精度/典型值 Undirection Repeatability/Typical(arcsec) |
±1 or 2 |
±1 or 2 |
±1 or 2 |
双向重复定位精度/保证值 Bi-Directional Repeatability/Guaranteed(arcsec) |
±3 or 6 |
±3 or 6 |
±3 or 6 |
双向重复定位精度/典型值 Bi-Directional Repeatability/Typical(arcsec) |
±2 or 4 |
±2 or 4 |
±2 or 4 |
定位精度/保证值 Accuracy[3]/Guaranteed(arcsec) |
±5 or 10 |
±5 or 10 |
±5 or 10 |
定位精度/典型值 Accuracy/Typical(arcsec) |
±4 or 8 |
±4 or 8 |
±4 or 8 |
最大速度 Max.Speed(RPM)[5] |
200 |
200 |
200 |
端跳 Face Runout(μm) |
1 |
2 |
2 |
径跳 Radial Runout(μm) |
0.05 |
0.05 |
0.05 |
供气压力 Air Pressure(MPa) |
0.4-0.6 |
0.4-0.6 |
0.4-0.6 |
重量 Weight(Kg) |
15 |
25 |
30 |
※ 备注
[1]:水平放置下的中心垂直负载。
[2]:最小运动增量不等同于分辨率,最小运动增量是指运动系统在连续、稳定情况下能够移动的最小量。一般来说,系统分辨率远小于最小运动增量。考虑传动结构和编码器对系统误差的影响,直线电机位移台与步进电机位移台相比,其最小运动增量更加接近于分辨率。
[3]:精度测量数据是平台在水平放置的情况下使用激光干涉仪测量的数据,测量标准参照GB/T17421-2000。
[4]:典型值和保证值的区别见技术指南。
[5]:最大速度为典型值,根据负载和控制器的不同会有区别。