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FMS170Z 系列直线电机大行程平移台
高负载、高精度、高速度，点对点应用的强大核心
在需要高负载、高精度和高速度的点对点应用中，菲克科技推出全新 FMS170Z 系列直线电机大行程平移台，以强大的性能和灵活的配置，为多轴系统和其他高要求应用提供理想解决方案。
主要特点
高负载，承载能力强： 采用有铁芯直线电机驱动，持续推力大，承载能力高达 50kg，轻松应对重型负载挑战。
高精度，定位精准可靠： 高分辨率光栅尺编码器反馈，实现亚微米级可重复定位精度，满足高精度定位需求。
高速度，快速到达目标位置： 直线电机驱动带来快速响应和高速运动，缩短点对点移动时间，提高工作效率。
大行程，灵活适应多种应用： 行程覆盖 300mm、500mm、1000mm，满足不同应用场景的需求。
超静音运行，打造舒适环境: 超静音位移台，适用于对噪音敏感的实验室环境和高性能工业场所。
强大软件支持，轻松操控: 免费标准版 SDK，支持 Window、Linux 环境下多种开发语言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等)，方便用户进行二次开发和系统集成。
高性能控制器，实现复杂运动: 控制器支持圆弧插补、直线插补、位置记忆和任意图形导入，可满足各种复杂运动控制需求。
灵活通讯，无缝连接: 可选配 EtherCAT 总线控制，实现高速、稳定的数据传输。
产品应用
工业CT Industrial CT 、工业机械手 Industrial Manipulator、光机 Optical Machine、精密测量 Precision Measurement 、锂电池 Lithium Battery
组合搭配
It can be flexibly combined into multi-axis motion system,Contact for more information
性能实测
|
Model |
FMS170Z-300 |
FMS170Z-500 |
FMS170Z-1000 |
|
行程 Travel(mm) |
300 |
500 |
1000 |
|
负载 Load Capacity(Kg)[1] |
50 |
50 |
50 |
|
分辨率 Resolution(μm) |
0.05 |
0.05 |
0.05 |
|
最小步进量 Min.Incremental Motion(μm)[2] |
0.5 |
0.5 |
0.5 |
|
单向重复定位精度/保证值 Undirection Repeatability[3]/Guaranteed(μm)[4] |
±1 or 2 |
±1.5 or 3 |
±1.5 or3 |
|
单向重复定位精度/典型值 Undirection Repeatability/Typical(μm) |
±0.5 or 1 |
±0.75 or 1.5 |
±0.75 or 1.5 |
|
双向重复定位精度/保证值 Bi-Directional Repeatability/Guaranteed(μm) |
±2 or 4 |
±2.5 or 5 |
±3 or 6 |
|
双向重复定位精度/典型值 Bi-Directional Repeatability/Typical(μm) |
±1 or 2 |
±1.25 or 2.5 |
±1.5 or 3 |
|
定位精度/保证值 Accuracy[3]/Guaranteed(μm) |
±3 or 6 |
±4 or 8 |
±5 or 10 |
|
定位精度/典型值 Accuracy/Typical(μm) |
±1.5 or 3 |
±2 or 4 |
±2.5 or 5 |
|
最大速度 Max.Speed(mm/s)[5] |
400 |
400 |
400 |
|
直线度 Straightness(μm) |
8 |
10 |
15 |
|
平整度 Flatness(μm) |
8 |
10 |
15 |
|
偏摆 Yaw(arcsec) |
30 |
40 |
60 |
|
俯仰 Pitch(arcsec) |
30 |
40 |
60 |
|
持续推力 Continuous Force(N) |
103 |
103 |
103 |
|
峰值推力 Peak Force(N) |
289 |
289 |
289 |
|
重量 Weight(kg) |
12 |
20 |
43 |
※ 备注
[1]：水平放置下的中心垂直负载。
[2]：最小运动增量不等同于分辨率，最小运动增量是指运动系统在连续、稳定情况下能够移动的最小量。一般来说，系统分辨率远小于最小运动增量。考虑传动结构和编码器对系统误差的影响，直线电机位移台与步进电机位移台相比，其最小运动增量更加接近于分辨率。
[3]：精度测量数据是平台在水平放置的情况下使用激光干涉仪测量的数据，测量标准参照GB/T17421-2000。
[4]：典型值和保证值的区别见技术指南。
[5]：最大速度为典型值，根据负载和控制器的不同会有区别。
