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FMSS系列迷你方台面平移台
小尺寸，高精度
在追求极致性能的领域，精度和尺寸往往难以兼得。菲克科技 FMSS 系列迷你方台面平移台，突破了这一技术瓶颈，为需要高精度、小尺寸运动控制的应用提供了理想解决方案。
主要特点
行程范围可选，满足更多应用需求: 38mm、48mm 两种行程可选，方形台面设计便于二维叠加，轻松应对空间受限的应用场景。
一体化集成设计，保证稳定可靠: 采用进口直线电机、集成一体式交叉滚柱导轨和光栅尺，速度均匀性波动控制在千分之一以内，保证了卓越的运动精度和稳定性。确保了更高的直线度和更小的体积，同时减少了装配误差，提升了整体稳定性和可靠性。
超静音运行，打造舒适环境: 超静音位移台，适用于对噪音敏感的实验室环境和高性能工业场所。
强大软件支持，轻松操控: 免费标准版 SDK，支持 Window、Linux 环境下多种开发语言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等)，方便用户进行二次开发和系统集成。
高性能控制器，实现复杂运动: 控制器支持圆弧插补、直线插补、位置记忆和任意图形导入，可满足各种复杂运动控制需求。
灵活通讯，无缝连接: 可选配 EtherCAT 总线控制，实现高速、稳定的数据传输。
产品应用
激光打靶 Laser Target、晶圆切割 Wafer Cutting、晶圆打磨 Wafer Grinding、激光工业 Laser Industry、医美医疗 Medical Beauty、高端仪器设备 High-end Equipment、原子力显微镜 Atomic Force Microscope
组合搭配
It can be flexibly combined into multi-axis motion system,Contact for more information
性能实测
|
Model |
FMSS90C-38 |
FMSS125C-48 |
|
行程 Travel(mm) |
38 |
48 |
|
负载 Load Capacity(Kg)[1] |
4 |
10 |
|
分辨率 Resolution(μm) |
0.1 |
0.1 |
|
最小步进量 Min.Incremental Motion(μm)[2] |
0.3 |
0.3 |
|
单向重复定位精度/保证值 Undirection Repeatability[3]/Guaranteed(μm)[4] |
±0.3 or 0.6 |
±0.5 or 1 |
|
单向重复定位精度/典型值 Undirection Repeatability/Typical(μm) |
±0.2 or 0.4 |
±0.3 or 0.6 |
|
双向重复定位精度/保证值 Bi-Directional Repeatability/Guaranteed(μm) |
±0.6 or 1.2 |
±1 or 2 |
|
双向重复定位精度/典型值 Bi-Directional Repeatability/Typical(μm) |
±0.3 or 0.6 |
±0.5 or 1 |
|
定位精度/保证值 Accuracy[3]/Guaranteed(μm) |
±2 or 4 |
±2 or 4 |
|
定位精度/典型值 Accuracy/Typical(μm) |
±0.5 or 1 |
±0.5 or 1 |
|
最大速度 Max.Speed(mm/s)[5] |
100 |
100 |
|
直线度 Straightness(μm) |
5 |
5 |
|
平整度 Flatness(μm) |
5 |
5 |
|
偏摆 Yaw(arcsec) |
10 |
10 |
|
俯仰 Pitch(arcsec) |
10 |
10 |
|
持续推力 Continuous Force(N) |
6 |
17.6 |
|
峰值推力 Peak Force(N) |
24 |
88 |
|
重量 Weight(kg) |
1.1 |
2.1 |
※ 备注
[1]：水平放置下的中心垂直负载。
[2]：最小运动增量不等同于分辨率，最小运动增量是指运动系统在连续、稳定情况下能够移动的最小量。一般来说，系统分辨率远小于最小运动增量。考虑传动结构和编码器对系统误差的影响，直线电机位移台与步进电机位移台相比，其最小运动增量更加接近于分辨率。
[3]：精度测量数据是平台在水平放置的情况下使用激光干涉仪测量的数据，测量标准参照GB/T17421-2000。
[4]：典型值和保证值的区别见技术指南。
[5]：最大速度为典型值，根据负载和控制器的不同会有区别。
