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FMS80系列步进电机高精度通用平移台
高精度、灵活易用、集成便捷
FMS80 系列是一款高性价比的步进电机驱动通用位移台，专为实验室和工业应用中的精密定位需求而设计。该系列产品结构紧凑，性能优异，提供多种行程选择和丰富的软件支持，可轻松集成到各种自动化系统中。
主要特点
行程范围可选，满足更多应用需求: 提供 50mm、100mm 和 150mm 三种行程选择，更有坚固的台身设计，支持 150mm × 150mm 行程的 XY 轴组装，轻松应对各种空间受限的应用。
精密结构，稳定可靠： 采用高精度交叉滚柱导轨和高品质丝杠，结合菲克科技标准化安装工艺，确保了卓越的运动精度和长期稳定的可靠性。
超高分辨率，精细控制： MS80 系列位移台拥有优异的机械分辨率，配合菲克科技高性能控制器，可实现微米级的精细定位，满足对极致精度的追求。
强大软件支持，轻松操控: 免费标准版 SDK，支持 Window、Linux 环境下多种开发语言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等)，方便用户进行二次开发和系统集成。
产品应用
光路切换 Optical Path Switching、教学仪器 Teaching Instrument、光学实验 Optical Experiment、通用设备 General Equipment
组合搭配
It can be flexibly combined into multi-axis motion system,Contact for more information
性能实测
|
Model |
FMS80-50 |
FMS80-100 |
FMS80-150 |
|
行程 Travel(mm) |
50 |
100 |
150 |
|
负载 Load Capacity(Kg)[1] |
10 |
10 |
10 |
|
分辨率 Resolution(μm) |
0.625 |
0.625 |
0.625 |
|
最小步进量 Min.Incremental Motion(μm)[2] |
1 |
1 |
1 |
|
单向重复定位精度/保证值 Undirection Repeatability[3]/Guaranteed(μm)[4] |
±1 or 2 |
±1 or 2 |
±1 or 2 |
|
单向重复定位精度/典型值 Undirection Repeatability/Typical(μm) |
±0.5 or 1 |
±0.5 or 1 |
±0.5 or 2 |
|
双向重复定位精度/保证值 Bi-Directional Repeatability/Guaranteed(μm) |
±2 or 4 |
±2.5 or 5 |
±3 or 6 |
|
双向重复定位精度/典型值 Bi-Directional Repeatability/Typical(μm) |
±1 or 2 |
±1 or 2 |
±1.5 or 3 |
|
定位精度/保证值 Accuracy[3]/Guaranteed(μm) |
±10 or 20 |
±12 or 24 |
±15 or 30 |
|
定位精度/典型值 Accuracy/Typical(μm) |
±5 |
±6 |
±8 |
|
最大速度 Max.Speed(mm/s)[5] |
10 |
10 |
10 |
|
直线度 Straightness(μm) |
10 |
12 |
15 |
|
平整度 Flatness(μm) |
10 |
12 |
15 |
|
偏摆 Yaw(arcsec) |
20 |
25 |
30 |
|
俯仰 Pitch(arcsec) |
20 |
25 |
30 |
|
重量 Weight(kg) |
1.6 |
1.8 |
2 |
※ 备注
[1]：水平放置下的中心垂直负载。
[2]：最小运动增量不等同于分辨率，最小运动增量是指运动系统在连续、稳定情况下能够移动的最小量。一般来说，系统分辨率远小于最小运动增量。考虑传动结构和编码器对系统误差的影响，直线电机位移台与步进电机位移台相比，其最小运动增量更加接近于分辨率。
[3]：精度测量数据是平台在水平放置的情况下使用激光干涉仪测量的数据，测量标准参照GB/T17421-2000。
[4]：典型值和保证值的区别见技术指南。
[5]：最大速度为典型值，根据负载和控制器的不同会有区别。
