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FMS80VR 系列真空步进电机高精度整体台面平移台
高精度、真空环境、稳定可靠、不锈钢材质
菲克科技 FMS80VR 系列真空步进电机高精度整体台面平移台，专为需要在真空环境下进行高精度定位的实验室和工业应用而设计。FMS80VR 系列平移台采用采用不锈钢材质打造，搭载步进电机驱动，结构紧凑，性能可靠，可在极端温度和高真空环境下稳定运行，提供多种行程选择，满足多样化的应用需求。
主要特点
多种行程可选，满足更多应用需求: 提供 30mm 和 50mm 两种行程选择，结构紧凑，可灵活集成于各种空间受限的应用场景。
真空环境，稳定可靠: 采用特殊材料和真空兼容设计，可在 10⁻⁷ Pa 至 10⁻³ Pa 的真空环境下长期稳定运行。
耐受极温，性能依旧: 在 -196°C 至 +250°C 的极端温度范围内依然能够保持高精度和稳定性。
不锈钢材质，坚固耐用: 采用不锈钢材质，耐腐蚀，抗氧化，坚固耐用，可确保以 50mm × 50mm 的最大行程进行可靠的 XY 轴组装。
高分辨率，精细控制: 配合菲克科技高性能控制器和驱动器，可实现微米级的精细定位。
强大软件支持，轻松操控: 免费标准版 SDK，支持 Window、Linux 环境下多种开发语言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等)，方便用户进行二次开发和系统集成。
产品应用
激光打靶 Laser Target、器件调整 Device Tuning、高能物理 High Energy Physics
组合搭配
It can be flexibly combined into multi-axis motion system,Contact for more information
性能实测
|
Model |
FMS80VR-30 |
FMS80VR-50 |
|
行程 Travel(mm) |
30 |
50 |
|
负载 Load Capacity(Kg)[1] |
10 |
5 |
|
分辨率 Resolution(μm) |
0.625 |
0.625 |
|
最小步进量 Min.Incremental Motion(μm)[2] |
1 |
1 |
|
单向重复定位精度/保证值 Undirection Repeatability[3]/Guaranteed(μm)[4] |
±1 or 2 |
±1 or 2 |
|
单向重复定位精度/典型值 Undirection Repeatability/Typical(μm) |
±0.5 or 1 |
±0.5 or 1 |
|
双向重复定位精度/保证值 Bi-Directional Repeatability/Guaranteed(μm) |
±2 or 4 |
±2 or 4 |
|
双向重复定位精度/典型值 Bi-Directional Repeatability/Typical(μm) |
±1 or 2 |
±1 or 2 |
|
定位精度/保证值 Accuracy[3]/Guaranteed(μm) |
±10 or 20 |
±10 or 20 |
|
定位精度/典型值 Accuracy/Typical(μm) |
±5 or 10 |
±5 or 10 |
|
最大速度 Max.Speed(mm/s)[5] |
10 |
10 |
|
直线度 Straightness(μm) |
10 |
10 |
|
平整度 Flatness(μm) |
10 |
10 |
|
偏摆 Yaw(arcsec) |
20 |
30 |
|
俯仰 Pitch(arcsec) |
20 |
30 |
|
重量 Weight(kg) |
2.8 |
2.8 |
※ 备注
[1]：水平放置下的中心垂直负载。
[2]：最小运动增量不等同于分辨率，最小运动增量是指运动系统在连续、稳定情况下能够移动的最小量。一般来说，系统分辨率远小于最小运动增量。考虑传动结构和编码器对系统误差的影响，直线电机位移台与步进电机位移台相比，其最小运动增量更加接近于分辨率。
[3]：精度测量数据是平台在水平放置的情况下使用激光干涉仪测量的数据，测量标准参照GB/T17421-2000。
[4]：典型值和保证值的区别见技术指南。
[5]：最大速度为典型值，根据负载和控制器的不同会有区别。
