



FMS80VR 系列真空步进电机高精度整体台面平移台
高精度、真空环境、稳定可靠、不锈钢材质
菲克科技 FMS80VR 系列真空步进电机高精度整体台面平移台,专为需要在真空环境下进行高精度定位的实验室和工业应用而设计。FMS80VR 系列平移台采用采用不锈钢材质打造,搭载步进电机驱动,结构紧凑,性能可靠,可在极端温度和高真空环境下稳定运行,提供多种行程选择,满足多样化的应用需求。真空环境,稳定运行。采用特殊材料和真空兼容设计,标准品可在 10⁻³ Pa 的真空环境下长期稳定运行,定制真空度可达到 10⁻⁷ Pa。
主要特点
多种行程可选,满足更多应用需求: 提供 30mm 和 50mm 两种行程选择,结构紧凑,可灵活集成于各种空间受限的应用场景。
真空环境,稳定可靠: 采用特殊材料和真空兼容设计,标准品可在 10⁻³ Pa 的真空环境下长期稳定运行,定制真空度可达到 10⁻⁷ Pa。
耐受极温,性能依旧: 在 -196°C 至 +250°C 的极端温度范围内依然能够保持高精度和稳定性。
不锈钢材质,坚固耐用: 采用不锈钢材质,耐腐蚀,抗氧化,坚固耐用,可确保以 50mm × 50mm 的最大行程进行可靠的 XY 轴组装。
高分辨率,精细控制: 配合菲克科技高性能控制器和驱动器,可实现微米级的精细定位。
强大软件支持,轻松操控: 免费标准版 SDK,支持 Window、Linux 环境下多种开发语言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等),方便用户进行二次开发和系统集成。
产品应用
激光打靶 Laser Target、器件调整 Device Tuning、高能物理 High Energy Physics
组合搭配

It can be flexibly combined into multi-axis motion system,Contact for more information
性能实测

位移台-控制器选型表

※ 备注
[1]:负载为水平放置下的中心垂直负载:最大负载为60kg
[2]:最小运动增量不等同于分辨率,最小运动增量是指运动系统在连续、稳定情况下能够移动的最小量。一般来说,系统分辨率远小于最小运动增量。考虑传动结构和编码器对系统误差的影响,直线电机位移台与步进电机位移台相比,其最小运动增量更加接近于分辨率
[3]:精度数据为平台水平放置时,采用激光干涉仪依据 GB/T17421-2000 标准测得;产品精度随负载大小存在差异,为保证精度,建议负载控制在标称范围内使用
[4]:典型值和保证值的区别见技术指南
[5]:最大速度为典型值,随负载与控制器不同有所差异:空载最大速度为20mm/s,额定负载下最大速度为20mm/s



