





FMS120V 系列真空步进电机高精度大台面通用平移台
高精度、大台面、真空环境适用
菲克科技 FMS120V 系列真空步进电机高精度大台面通用平移台,专为需要在真空环境下进行高精度定位的科研和工业应用而设计。FMS120V 系列平移台采用步进电机驱动,具备高精度、高稳定性、耐极端环境等特点,台面尺寸大,易于集成,提供多种行程和配置选择,满足多样化的应用需求。真空环境,稳定运行。采用特殊材料和真空兼容设计,标准品可在 10⁻³ Pa 的真空环境下长期稳定运行,定制真空度可达到 10⁻⁷ Pa。
主要特点
多种行程可选,满足更多应用需求: 提供 100mm、200mm 和 300mm 三种行程选择,结构紧凑,可灵活集成于各种应用场景。
大台面设计,扩展应用可能: 300mm×300mm 最大行程,提供更大的操作空间,可满足 XY 轴组合使用,轻松应对更大尺寸样品的精密定位需求。
真空环境,稳定可靠: 采用特殊材料和真空兼容设计,标准品可在 10⁻³ Pa 的真空环境下长期稳定运行,定制真空度可达到 10⁻⁷ Pa。
高精度定位,稳定可靠: 采用高品质步进电机和精密导轨,结合菲克科技标准化安装工艺,确保卓越的运动精度和长期稳定的可靠性。
坚固耐用,持久稳定: 采用不锈钢材质,结构坚固,确保长时间稳定可靠运行,延长使用寿命。
强大软件支持,轻松操控: 免费标准版 SDK,支持 Window、Linux 环境下多种开发语言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等),方便用户进行二次开发和系统集成。
产品应用
X射线环境 X-ray、真空靶室 The Vacuum Chamber、极高低温环境 Extremely High/Low Temperature
组合搭配

It can be flexibly combined into multi-axis motion system,Contact for more information
性能实测

位移台-控制器选型表

※ 备注
[1]:负载为水平放置下的中心垂直负载:最大负载为55kg
[2]:最小运动增量不等同于分辨率,最小运动增量是指运动系统在连续、稳定情况下能够移动的最小量。一般来说,系统分辨率远小于最小运动增量。考虑传动结构和编码器对系统误差的影响,直线电机位移台与步进电机位移台相比,其最小运动增量更加接近于分辨率
[3]:精度数据为平台水平放置时,采用激光干涉仪依据 GB/T17421-2000 标准测得;产品精度随负载大小存在差异,为保证精度,建议负载控制在标称范围内使用
[4]:典型值和保证值的区别见技术指南
[5]:最大速度为典型值,随负载与控制器不同有所差异:空载最大速度为55mm/s,额定负载下最大速度为55mm/s



