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FMS120V 系列真空步进电机高精度大台面通用平移台
高精度、大台面、真空环境适用
菲克科技 FMS120V 系列真空步进电机高精度大台面通用平移台，专为需要在真空环境下进行高精度定位的科研和工业应用而设计。FMS120V 系列平移台采用步进电机驱动，具备高精度、高稳定性、耐极端环境等特点，台面尺寸大，易于集成，提供多种行程和配置选择，满足多样化的应用需求。
主要特点
多种行程可选，满足更多应用需求： 提供 100mm、200mm 和 300mm 三种行程选择，结构紧凑，可灵活集成于各种应用场景。
大台面设计，扩展应用可能： 300mm×300mm 最大行程，提供更大的操作空间，可满足 XY 轴组合使用，轻松应对更大尺寸样品的精密定位需求。
真空环境适用，无惧极端条件： 可在 10-7~ 10-3Pa 真空度和 -196 ~ +250℃ 的高低温环境下稳定工作，同时具备抗辐射干扰能力，轻松应对各种极端条件下的精密操控需求。
高精度定位，稳定可靠： 采用高品质步进电机和精密导轨，结合菲克科技标准化安装工艺，确保卓越的运动精度和长期稳定的可靠性。
坚固耐用，持久稳定： 采用不锈钢材质，结构坚固，确保长时间稳定可靠运行，延长使用寿命。
强大软件支持，轻松操控: 免费标准版 SDK，支持 Window、Linux 环境下多种开发语言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等)，方便用户进行二次开发和系统集成。
产品应用
X射线环境 X-ray、真空靶室 The Vacuum Chamber、极高低温环境 Extremely High/Low Temperature
组合搭配
It can be flexibly combined into multi-axis motion system,Contact for more information
性能实测
|
Model |
FMS120V-100 |
FMS120V-200 |
FMS120V-300 |
|
行程 Travel(mm) |
100 |
200 |
300 |
|
负载 Load Capacity(Kg)[1] |
20 |
20 |
20 |
|
分辨率 Resolution(μm) |
2.5 |
2.5 |
2.5 |
|
最小步进量 Min.Incremental Motion(μm)[2] |
3 |
3 |
3 |
|
单向重复定位精度/保证值 Undirection Repeatability[3]/Guaranteed(μm)[4] |
±1 or 2 |
±2 or 4 |
±3 or 6 |
|
单向重复定位精度/典型值 Undirection Repeatability/Typical(μm) |
±0.5 or 1 |
±1 or 2 |
±2 or 4 |
|
双向重复定位精度/保证值 Bi-Directional Repeatability/Guaranteed(μm) |
±3 or 6 |
±3 or 6 |
±4 or 8 |
|
双向重复定位精度/典型值 Bi-Directional Repeatability/Typical(μm) |
±2 or 4 |
±2 or 4 |
±3 or 6 |
|
定位精度/保证值 Accuracy[3]/Guaranteed(μm) |
±12 or 24 |
±15 or 30 |
±20 or 40 |
|
定位精度/典型值 Accuracy/Typical(μm) |
±6 or 12 |
±8 or 16 |
±10 or 20 |
|
最大速度 Max.Speed(mm/s)[5] |
40 |
40 |
40 |
|
直线度 Straightness(μm) |
12 |
15 |
20 |
|
平整度 Flatness(μm) |
12 |
15 |
20 |
|
偏摆 Yaw(arcsec) |
30 |
40 |
50 |
|
俯仰 Pitch(arcsec) |
30 |
40 |
50 |
|
重量 Weight(kg) |
10.4 |
12 |
13.5 |
※ 备注
[1]：水平放置下的中心垂直负载。
[2]：最小运动增量不等同于分辨率，最小运动增量是指运动系统在连续、稳定情况下能够移动的最小量。一般来说，系统分辨率远小于最小运动增量。考虑传动结构和编码器对系统误差的影响，直线电机位移台与步进电机位移台相比，其最小运动增量更加接近于分辨率。
[3]：精度测量数据是平台在水平放置的情况下使用激光干涉仪测量的数据，测量标准参照GB/T17421-2000。
[4]：典型值和保证值的区别见技术指南。
[5]：最大速度为典型值，根据负载和控制器的不同会有区别。
