⼯业型全封闭⾼精度平移台-四川菲克科技有限公司

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产品详情 Product Details

FMS-Z-HI系列工业型全封闭高精度平移台

高强度、高精度、高可靠性，为严苛工业环境而生

在恶劣的工业环境中，设备需要具备强大的耐用性、精准的定位能力和可靠的运行稳定性。菲克科技 FMS-Z-HI 系列工业型全封闭高精度平移台专为应对挑战而设计，采用全封闭直驱结构，即使长时间连续工作，也能提供高精度、高可靠性的运动控制。

主要特点

全封闭结构，无惧挑战：全封闭设计有效隔离灰尘、液体等污染物，确保在恶劣环境下稳定运行，延长使用寿命。

高精度定位，精准可靠：内置高分辨率光栅尺，实现亚微米级重复定位精度和最小 50 纳米的步进距离，满足高精度工业应用需求。

超强耐用性，持久稳定：采用高强度材料和先进制造工艺，具备高承载能力和抗疲劳强度，保证长时间连续稳定运行。

超静音运行，打造舒适环境: 超静音位移台，适用于对噪音敏感的实验室环境和高性能工业场所。

强大软件支持，轻松操控: 免费标准版 SDK，支持 Window、Linux 环境下多种开发语言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等)，方便用户进行二次开发和系统集成。

高性能控制器，实现复杂运动: 控制器支持圆弧插补、直线插补、位置记忆和任意图形导入，可满足各种复杂运动控制需求。

灵活通讯，无缝连接: 可选配 EtherCAT 总线控制，实现高速、稳定的数据传输。

产品应用

激光切割 Laser Cutting、激光焊接 Laser Welding、工业CT Industrial CT、机械手 Robotic Arm、半导体 Semiconductor、自动化设备 Automation Equipment、锂电池测试设备 Lithium Battery Test Equipment

组合搭配

It can be ﬂexibly combined into multi-axis motion system,Contact for more information

性能实测

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产品参数 Product parameters

Model	FMS165Z-100HI	FMS165Z-200HI	FMS165Z-300HI
行程 Travel(mm)	100	200	300
负载 Load Capacity(Kg)[1]	20	20	20
分辨率 Resolution(μm)	0.02	0.02	0.02
最小步进量 Min.Incremental Motion(μm)[2]	0.1	0.1	0.1
单向重复定位精度/保证值 Undirection Repeatability[3]/Guaranteed(μm)[4]	±0.2 or 0.4	±0.2 or 0.4	±0.2 or 0.4
单向重复定位精度/典型值 Undirection Repeatability/Typical(μm)	±0.1 or 0.2	±0.1 or 0.2	±0.1 or 0.2
双向重复定位精度/保证值 Bi-Directional Repeatability/Guaranteed(μm)	±0.3 or 0.6	±0.3 or 0.6	±0.3 or 0.6
双向重复定位精度/典型值 Bi-Directional Repeatability/Typical(μm)	±0.2 or 0.4	±0.2 or 0.4	±0.2 or 0.4
定位精度/保证值 Accuracy[3]/Guaranteed(μm)	±1 or 2	±1 or 2	±1 or 2
定位精度/典型值 Accuracy/Typical(μm)	±0.5 or 1	±0.5 or 1	±0.5 or 1
最大速度 Max.Speed(mm/s)[5]	500	500	500
直线度 Straightness(μm)	5	5	5
平整度 Flatness(μm)	5	5	5
偏摆 Yaw(arcsec)	15	15	15
俯仰 Pitch(arcsec)	15	15	15
持续推力 Continuous Force(N)	35.2	35.2	35.2
峰值推力 Peak Force(N)	176	176	176
重量 Weight(kg)	10	12.5	15

Model	FMS225Z-200HI	FMS225Z-400HI	FMS225Z-600HI
行程 Travel(mm)	200	400	600
负载 Load Capacity(Kg)[1]	100	100	100
分辨率 Resolution(μm)	0.02	0.02	0.02
最小步进量 Min.Incremental Motion(μm)[2]	0.1	0.1	0.1
单向重复定位精度/保证值 Undirection Repeatability[3]/Guaranteed(μm)[4]	±0.2 or 0.4	±0.2 or 0.4	±0.2 or 0.4
单向重复定位精度/典型值 Undirection Repeatability/Typical(μm)	±0.1 or 0.2	±0.1 or 0.2	±0.1 or 0.2
双向重复定位精度/保证值 Bi-Directional Repeatability/Guaranteed(μm)	±0.3 or 0.6	±0.3 or 0.6	±0.3 or 0.6
双向重复定位精度/典型值 Bi-Directional Repeatability/Typical(μm)	±0.2 or 0.4	±0.2 or 0.4	±0.2 or 0.4
定位精度/保证值 Accuracy[3]/Guaranteed(μm)	±1 or 2	±1 or 2	±1 or 2
定位精度/典型值 Accuracy/Typical(μm)	±0.5 or 1	±0.5 or 1	±0.5 or 1
最大速度 Max.Speed(mm/s)[5]	500	500	500
直线度 Straightness(μm)	8	8	8
平整度 Flatness(μm)	8	8	8
偏摆 Yaw(arcsec)	15	20	20
俯仰 Pitch(arcsec)	15	20	20
持续推力 Continuous Force(N)	166	166	166
峰值推力 Peak Force(N)	935	935	935
重量 Weight(kg)	32	42	52

Model	FMS280Z-600HI	FMS280Z-800HI	FMS280Z-1000HI
行程 Travel(mm)	600	800	1000
负载 Load Capacity(Kg)[1]	200	200	200
分辨率 Resolution(μm)	0.02	0.02	0.02
最小步进量 Min.Incremental Motion(μm)[2]	0.1	0.1	0.1
单向重复定位精度/保证值 Undirection Repeatability[3]/Guaranteed(μm)[4]	±0.3 or 0.6	±0.3 or 0.6	±0.3 or 0.6
单向重复定位精度/典型值 Undirection Repeatability/Typical(μm)	±0.2 or 0.4	±0.2 or 0.4	±0.2 or 0.4
双向重复定位精度/保证值 Bi-Directional Repeatability/Guaranteed(μm)	±0.5 or 1	±0.5 or 1	±0.5 or 1
双向重复定位精度/典型值 Bi-Directional Repeatability/Typical(μm)	±0.3 or 0.6	±0.3 or 0.6	±0.3 or 0.6
定位精度/保证值 Accuracy[3]/Guaranteed(μm)	±2 or 4	±2 or 4	±2 or 4
定位精度/典型值 Accuracy/Typical(μm)	±1 or 2	±1 or 2	±1 or 2
最大速度 Max.Speed(mm/s)[5]	500	500	500
直线度 Straightness(μm)	10	12	15
平整度 Flatness(μm)	10	12	15
偏摆 Yaw(arcsec)	20	25	25
俯仰 Pitch(arcsec)	20	25	25
持续推力 Continuous Force(N)	295	295	295
峰值推力 Peak Force(N)	2200	2200	2200
重量 Weight(kg)	75	95	115