FMSR-DH系列超高性能直驱旋转台
超薄设计,极致性能,灵活易用
菲克科技推出的FMSR-DH系列直驱旋转台,专为高度受限应用场景而设计。FMSR-DH系列采用扁平化直驱电机设计,在大中孔径的同时保持了超薄的机身,在有限的空间内提供高精度、高稳定性和超静音的旋转运动控制。
主要特点
多种台面尺寸可选,满足更多应用需求: 提供120mm 至 220mm 多种台面直径选择,更大尺寸可定制,结构紧凑,可灵活集成于各种空间受限的应用场景。
高精度轴承封装,运行稳定可靠: 采用高精度轴承和精密加工工艺,确保卓越的运动精度和长期稳定的可靠性,同心度和面跳动表现优异。
直驱电机驱动,精细控制: FMSR-DH 系列旋转台采用直驱电机驱动,拥有极佳的微步能力,配合菲克科技高性能控制器,可实现±0.003°的双向重复定位精度,满足对极致精度的追求。
超静音运行,打造舒适环境: 超静音旋转台,适用于对噪音敏感的实验室环境和高性能工业场所。
强大软件支持,轻松操控: 免费标准版 SDK,支持 Window、Linux 环境下多种开发语言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等),方便用户进行二次开发和系统集成。
高性能控制器,实现复杂运动: 控制器支持圆弧插补、直线插补、位置记忆和任意图形导入,可满足各种复杂运动控制需求。
灵活通讯,无缝连接: 可选配 EtherCAT 总线控制,实现高速、稳定的数据传输。
产品应用
光路切换 Optical Path Switching、工业CT Industrial CT 、半导体检测 Semiconductor Inspection、机器视觉 Machine Vision、医疗医美 Medical Beauty
组合搭配
It can be flexibly combined into multi-axis motion system,Contact for more information
性能实测
Model |
FMSR120DH |
FMSR170DH |
FMSR220DH |
行程 Travel(°) |
360 |
360 |
360 |
负载 Load Capacity(Kg)[1] |
10 |
20 |
25 |
负载(倒装/侧装) Load Capacity(Inverted/Wall Mounting)(Kg) |
1 |
1.5 |
2 |
分辨率 Resolution(°) |
0.0005 |
0.0005 |
0.0005 |
最小步进量 Min.Incremental Motion(°)[2] |
0.001 |
0.001 |
0.001 |
单向重复定位精度/保证值 Undirection Repeatability[3]/Guaranteed(°)[4] |
±0.002 or 0.004 |
±0.002 or 0.004 |
±0.002 or 0.004 |
单向重复定位精度/典型值 Undirection Repeatability/Typical(°) |
±0.001 or 0.002 |
±0.001 or 0.002 |
±0.001 or 0.002 |
双向重复定位精度/保证值 Bi-Directional Repeatability/Guaranteed(°) |
±0.003 or 0.006 |
±0.003 or 0.006 |
±0.003 or 0.006 |
双向重复定位精度/典型值 Bi-Directional Repeatability/Typical(°) |
±0.002 or 0.004 |
±0.002 or 0.004 |
±0.002 or 0.004 |
定位精度/保证值 Accuracy[3]/Guaranteed(°) |
±0.005 or 0.01 |
±0.005 or 0.01 |
±0.005 or 0.01 |
定位精度/典型值 Accuracy/Typical(°) |
±0.003 or 0.006 |
±0.003 or 0.006 |
±0.003 or 0.006 |
最大速度 Max.Speed(°/s)[5] |
2160 |
1800 |
1800 |
端跳/保证值 Face Runout/Guaranteed(μm) |
15(10,5) |
18(10,5) |
18(10,5) |
径跳/保证值 Radial Runout/Guaranteed(μm) |
15(10,5) |
18(10,5) |
18(10,5) |
重量 Weight(kg) |
2.6 |
5 |
9.7 |
※ 备注
[1]:水平放置下的中心垂直负载。
[2]:最小运动增量不等同于分辨率,最小运动增量是指运动系统在连续、稳定情况下能够移动的最小量。一般来说,系统分辨率远小于最小运动增量。考虑传动结构和编码器对系统误差的影响,直线电机位移台与步进电机位移台相比,其最小运动增量更加接近于分辨率。
[3]:精度测量数据是平台在水平放置的情况下使用激光干涉仪测量的数据,测量标准参照GB/T17421-2000。
[4]:典型值和保证值的区别见技术指南。
[5]:最大速度为典型值,根据负载和控制器的不同会有区别。