







FMS165Z-H系列超高性能平移台
高速、高精度、超低速稳定运行,专为复杂科研应用而生
在高速发展的光机领域,对速度、精度、稳定性和超低速运行能力的追求永无止境。菲克科技凭借多年电动位移台设计经验,推出旗舰系列产品——FMS165Z-H超高性能平移台。FMS165Z-H系列产品专为复杂科研应用打造,以其优异的综合性能,为科研工作者提供理想解决方案,完美替代传统平移台。
主要特点
高速响应,提升效率: 采用高性能直线电机,带来更快的加速度和更高的速度,最高运行速度可达1m/s,显著缩短定位时间,提高实验效率。
亚微米级定位精度,确保准确性: 内置高达高精度光栅尺编码器,反馈系统能以亚微米级的可重复定位精度进行精确定位,满足高精度应用需求。
超低速稳定运行,满足特殊实验需求: 最小步进距离可达0.1微米,可超慢速稳定运行,轻松应对特殊实验环境。
高稳定性运行,保障可靠性: 无摩擦传动设计,消除了传统丝杠结构的机械磨损和间隙,确保长期稳定运行,延长使用寿命。
超静音运行,打造舒适环境: 超静音位移台,适用于对噪音敏感的实验室环境和高性能工业场所。
强大软件支持,轻松操控: 免费标准版 SDK,支持 Window、Linux 环境下多种开发语言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等),方便用户进行二次开发和系统集成。
高性能控制器,实现复杂运动: 控制器支持圆弧插补、直线插补、位置记忆和任意图形导入,可满足各种复杂运动控制需求。
人性化设计,方便线束管理: 内置拖链,方便线束管理,使实验平台更加整洁。
产品应用
工业CT Industrial CT 、飞秒加工 Femtosecond processing 、半导体 Semiconduct、显微扫描 Microscan、光纤延迟线 Fiber Delay Line、激光切割机 Laser Cutter、激光焊接机 Laser Welder、医疗 Medical、仪器设备制造 Equipment Manufacturing
组合搭配

It can be flexibly combined into multi-axis motion system,Contact for more information
性能实测

位移台-控制器选型表

※ 备注
[1]:负载为水平放置下的中心垂直负载:FMC04-H控制器最大负载为50kg
[2]:最小运动增量不等同于分辨率,最小运动增量是指运动系统在连续、稳定情况下能够移动的最小量。一般来说,系统分辨率远小于最小运动增量。考虑传动结构和编码器对系统误差的影响,直线电机位移台与步进电机位移台相比,其最小运动增量更加接近于分辨率
[3]:精度数据为平台水平放置时,采用激光干涉仪依据 GB/T17421-2000 标准测得;产品精度随负载大小存在差异,为保证精度,建议负载控制在标称范围内使用
[4]:典型值和保证值的区别见技术指南
[5]:最大速度为典型值,随负载与控制器不同有所差异:FMC04-H控制器空载最大速度为700mm/s,标称负载下最大速度为330mm/s


