FMS165Z-H系列超高性能平移台
高速、高精度、超低速稳定运行,专为复杂科研应用而生
在高速发展的光机领域,对速度、精度、稳定性和超低速运行能力的追求永无止境。菲克科技凭借多年电动位移台设计经验,推出旗舰系列产品——FMS165Z-H超高性能平移台。FMS165Z-H系列产品专为复杂科研应用打造,以其优异的综合性能,为科研工作者提供理想解决方案,完美替代传统平移台。
主要特点
高速响应,提升效率: 采用高性能直线电机,带来更快的加速度和更高的速度,最高运行速度可达1m/s,显著缩短定位时间,提高实验效率。
亚微米级定位精度,确保准确性: 内置高达高精度光栅尺编码器,反馈系统能以亚微米级的可重复定位精度进行精确定位,满足高精度应用需求。
超低速稳定运行,满足特殊实验需求: 最小步进距离可达0.1微米,可超慢速稳定运行,轻松应对特殊实验环境。
高稳定性运行,保障可靠性: 无摩擦传动设计,消除了传统丝杠结构的机械磨损和间隙,确保长期稳定运行,延长使用寿命。
超静音运行,打造舒适环境: 超静音位移台,适用于对噪音敏感的实验室环境和高性能工业场所。
强大软件支持,轻松操控: 免费标准版 SDK,支持 Window、Linux 环境下多种开发语言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等),方便用户进行二次开发和系统集成。
高性能控制器,实现复杂运动: 控制器支持圆弧插补、直线插补、位置记忆和任意图形导入,可满足各种复杂运动控制需求。
人性化设计,方便线束管理: 内置拖链,方便线束管理,使实验平台更加整洁。
产品应用
工业CT Industrial CT 、飞秒加工 Femtosecond processing 、半导体 Semiconduct、显微扫描 Microscan、光纤延迟线 Fiber Delay Line、激光切割机 Laser Cutter、激光焊接机 Laser Welder、医疗 Medical、仪器设备制造 Equipment Manufacturing
组合搭配
It can be flexibly combined into multi-axis motion system,Contact for more information
性能实测
Model |
FMS165Z-150H |
FMS165Z-200H |
FMS165Z-250H |
FMS165Z-300H |
行程 Travel(mm) |
150 |
200 |
250 |
300 |
负载 Load Capacity(Kg)[1] |
40 |
20 |
40 |
20 |
分辨率 Resolution(μm) |
0.02 |
0.02 |
0.02 |
0.02 |
最小步进量 Min.Incremental Motion(μm)[2] |
0.1 |
0.1 |
0.1 |
0.1 |
单向重复定位精度/保证值 Undirection Repeatability[3]/Guaranteed(μm)[4] |
±0.2 or 0.4 |
±0.2 or 0.4 |
±0.2 or 0.4 |
±0.2 or 0.4 |
单向重复定位精度/典型值 Undirection Repeatability/Typical(μm) |
±0.1 or 0.2 |
±0.1 or 0.2 |
±0.1 or 0.2 |
±0.1 or 0.2 |
双向重复定位精度/保证值 Bi-Directional Repeatability/Guaranteed(μm) |
±0.3 or 0.6 |
±0.3 or 0.6 |
±0.3 or 0.6 |
±0.3 or 0.6 |
双向重复定位精度/典型值 Bi-Directional Repeatability/Typical(μm) |
±0.2 or 0.4 |
±0.2 or 0.4 |
±0.2 or 0.4 |
±0.2 or 0.4 |
定位精度/保证值 Accuracy[3]/Guaranteed(μm) |
±1 or 2 |
±1 or 2 |
±1 or 2 |
±1 or 2 |
定位精度/典型值 Accuracy/Typical(μm) |
±0.5 or 1 |
±0.5 or 1 |
±0.5 or 1 |
±0.5 or 1 |
最大速度 Max.Speed(mm/s)[5] |
500 |
500 |
500 |
500 |
直线度 Straightness(μm) |
5 |
5 |
5 |
5 |
平整度 Flatness(μm) |
5 |
5 |
5 |
5 |
偏摆 Yaw(arcsec) |
15 |
15 |
15 |
15 |
俯仰 Pitch(arcsec) |
15 |
15 |
15 |
15 |
持续推力 Continuous Force(N) |
58 |
29 |
58 |
29 |
峰值推力 Peak Force(N) |
200 |
100 |
200 |
100 |
重量 Weight(kg) |
13.5 |
13 |
18 |
17.5 |
※ 备注
[1]:水平放置下的中心垂直负载。
[2]:最小运动增量不等同于分辨率,最小运动增量是指运动系统在连续、稳定情况下能够移动的最小量。一般来说,系统分辨率远小于最小运动增量。考虑传动结构和编码器对系统误差的影响,直线电机位移台与步进电机位移台相比,其最小运动增量更加接近于分辨率。
[3]:精度测量数据是平台在水平放置的情况下使用激光干涉仪测量的数据,测量标准参照GB/T17421-2000。
[4]:典型值和保证值的区别见技术指南。
[5]:最大速度为典型值,根据负载和控制器的不同会有区别。
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