FMSZ 系列整体台面步进电机升降台
全方位无遮挡,性价比高
菲克科技 FMSZ 系列整体台面升降台专为需要全方位无遮挡操作的系统搭建而设计,采用一体化丝杠电机驱动,运行平稳,结构紧凑,集成灵活,提供多种行程选择,以经济高效的方案满足多样化的应用需求。
主要特点
多种行程可选,满足更多应用需求: 提供 20mm、50mm 和 120mm 三种行程选择,结构紧凑,可灵活集成于各种空间受限的应用场景。
一体化丝杠电机,运行平稳可靠: 采用上海鸣志一体化丝杠电机,无需联轴器,避免偏心扰动,运行更加平稳,保障长期稳定的可靠性。
高分辨率,精细控制: 可选配 0.5μm 光栅尺实现闭环控制,配合菲克科技高性能控制器,可实现亚微米级的精细定位,满足对极致精度的追求。
断电自锁,安全可靠: 内置断电自锁功能,确保运行安全可靠。
强大软件支持,轻松操控: 免费标准版 SDK,支持 Window、Linux 环境下多种开发语言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等),方便用户进行二次开发和系统集成。
高性能控制器,实现复杂运动: 控制器支持圆弧插补、直线插补、位置记忆和任意图形导入,可满足各种复杂运动控制需求。
灵活通讯,无缝连接: 可选配 EtherCAT 总线控制,实现高速、稳定的数据传输。
产品应用
样品台 Sample Stage、姿态调整 Posture Adjustment、光学测试 Optical Test、光学设备 Optical Equipment
组合搭配
It can be flexibly combined into multi-axis motion system,Contact for more information
性能实测
Model |
FMSZ85R-20 |
FMSZ115R-50 |
FMSZ145-120 |
行程 Travel(mm) |
20 |
50 |
120 |
负载 Load Capacity(Kg)[1] |
5 |
10 |
20 |
分辨率 Resolution(μm) |
0.625 |
0.625 |
0.625 |
最小步进量 Min.Incremental Motion(μm)[2] |
2 |
2 |
2 |
单向重复定位精度/保证值 Undirection Repeatability[3]/Guaranteed(μm)[4] |
±1 or 2 |
±2 or 4 |
±2 or 4 |
单向重复定位精度/典型值 Undirection Repeatability/Typical(μm) |
±0.5 or 1 |
±1 or 2 |
±1 or 2 |
双向重复定位精度/保证值 Bi-Directional Repeatability/Guaranteed(μm) |
±2.5 or 5 |
±3 or 6 |
±4 or 8 |
双向重复定位精度/典型值 Bi-Directional Repeatability/Typical(μm) |
±1 or 2 |
±2 or 4 |
±2 or 4 |
定位精度/保证值 Accuracy[3]/Guaranteed(μm) |
±15 or 30 |
±20 or 40 |
±20 or 40 |
定位精度/典型值 Accuracy/Typical(μm) |
±10 or 20 |
±15 or 30 |
±15 or 30 |
最大速度 Max.Speed(mm/s)[5] |
10 |
10 |
10 |
直线度 Straightness(μm) |
15 |
15 |
15 |
平整度 Flatness(μm) |
15 |
15 |
15 |
偏摆 Yaw(arcsec) |
30 |
40 |
60 |
俯仰 Pitch(arcsec) |
30 |
40 |
60 |
重量 Weight(kg) |
1.2 |
2.9 |
6.8 |
※ 备注
[1]:水平放置下的中心垂直负载。
[2]:最小运动增量不等同于分辨率,最小运动增量是指运动系统在连续、稳定情况下能够移动的最小量。一般来说,系统分辨率远小于最小运动增量。考虑传动结构和编码器对系统误差的影响,直线电机位移台与步进电机位移台相比,其最小运动增量更加接近于分辨率。
[3]:精度测量数据是平台在水平放置的情况下使用激光干涉仪测量的数据,测量标准参照GB/T17421-2000。
[4]:典型值和保证值的区别见技术指南。
[5]:最大速度为典型值,根据负载和控制器的不同会有区别。
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